AP&S – LOTUS systems Acetoncarussel – Карусельная установка обработки в ацетоне

  • Применение: для полупроводникового производства, МЭМС
  • Данная установка вскрытия масок является инструментом очистки пластин для вскрытия защитного покрытия неразрезанных и разрезанных пластин с ацетоном (опция – изопропанолом) и деионизованной водой;
  • Проникновение ацетона в каналы реза предотвращено;
  • Карусель предназначена для подложек от 4″ до 8″
  • Рабочая камера секционно разделена на камеру с растворителем и камеру промывки;
  • Растворитель подается на поверхность пластин управляемым струйными форсунками потоком в зависимости от чувствительности прибора.
Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.