• Размер обрабатываемых пластин: от 50мм до 150мм
• Размер маски：         □4″ ~ □7″ кварц или стекло (soda lime)
• Мощность лампы：  250Вт или 500Вт
• Диапазон длин волн： широкополосный источник ( i линия : 365нм /  h линия : 400нм / g линия : 436 нм )

далее

• Размер обрабатываемых пластин от 50мм до 150мм
• Размер маски：□ 4″ ~ □7″ кварц или стекло (soda lime)
• Мощность лампы：  250Вт либо 500Вт
• Диапазон длин волн：широкополосный источник ( i линия : 365нм /  h линия : 400нм / g линия : 436 нм ) Интенсивность излучения： более 16 мВт / см2 на длине волны 365нм для 250Вт, более 40 мВт / см² на полосе 365нм для 500Вт

далее

• Размер обрабатываемых пластин от 50мм до 150мм
• Размер маски：□ 4″ ~ □7″ кварц или стекло (soda lime)
• Мощность лампы：  250Вт либо 500Вт
• Диапазон длин волн： широкополосный источник ( i линия : 365нм /  h линия : 400нм / g линия : 436 нм ) Интенсивность излучения： более 16 мВт / см2 на длине волны 365нм для 250Вт, более 40 мВт / см² на полосе 365нм для 500Вт

далее

• Размер обрабатываемых пластин от 150мм до 200мм
• Размер маски：□ 7″ ~ □9″ кварц или стекло (soda lime)
• Мощность лампы：  660Вт ~ 940Вт   
• Диапазон длин волн： широкополосный источник ( i линия : 365нм /  h линия : 400нм / g линия : 436 нм )

далее

• Автоматическая установка очистки масок
• Рабочий размер масок：5 х 5 дюймов и 7 х 7 дюймов
• Тип робота：Трёхосевой
• Скорость вращателя：500 ~ 2000 оборотов в минуту

далее

• Автоматическая установка очистки масок
• Рабочий размер：      1400 x 850мм и 800×900 мм для кварцевых масок
• Состав：            загрузка / робот / выравнивание / очистка / блок поворота / блок УФ засветки/ выгрузка
• Точность выравнивания：± 0.5мм

далее

• Полностью автоматическая установка химической обработки
• Размер подложки：150-200мм (ELS508FA); 100-150мм (ELS506FA); 50-100мм (ELS504FA)
• Состав：зона загрузки / Робот / система выравнивания / камера очистки / зона выгрузки
• Тип робота：двойной манипулятор с системой картирования

далее

• Полностью автоматическая установка химической обработки
• Размер подложки：    200мм / 300мм
• Состав：            зона загрузки / Робот / система выравнивания / камера очистки / зона выгрузки
• Тип робота：двойной манипулятор с системой картирования

далее

• Установка задубливания фотрезиста
• Размер подложки：50 — 100мм
• Состав：зона загрузки / Робот / система выравнивания / система нагрева / зона выгрузки
• Тип робота：двойной манипулятор с системой картирования

далее

• Установка задубливания фоторезиста
• Размер подложки：100 — 150мм
• Состав：            зона загрузки / Робот / система выравнивания / система нагрева / зона выгрузки
• Тип робота：двойной манипулятор с системой картирования

далее

• Полуавтоматическое установка для нанесения проявителя
• Размер обрабатываемых пластин от 50мм до 150мм или максимальный размер подложек 150х150мм
• Скорость вращения: 100 ~ 4500 оборотов в минуту
• Точность поддержания скорости вращения: ±1%

далее

• Полуавтоматическое установка для нанесения проявителя
• Размер обрабатываемых пластин от 50мм до 200мм или максимальный размер подложек 150х150мм
• Скорость вращения: 100 ~ 4500 оборотов в минуту
• Точность поддержания скорости вращения: ±1%

далее

• Полуавтоматическое установка для нанесения проявителя
• Размер обрабатываемых пластин 300мм
• Скорость вращения: 100 ~ 4500 оборотов в минуту
• Точность поддержания скорости вращения: ±1%

далее

• Установка автоматической оптической инспекции масок
• Рабочий размер пластин： 5″ ~ 7″
• Компоновка блока:      Система загрузки масок / Робот / Устройство для центрирования / Столик / система выгрузки масок
• Тип робота：    одноплечевой

далее

• Автоматическая установка нанесения фоторезиста
• Размер подложки: 50 ~ 100мм ELS 3604FA; 100 ~ 150мм ELS 3606FA.
• Состав： LD / Robot / Centering / Coater / HP / CP / ULD
• Тип робота：Трёхосевой

далее

• Автоматическая установка нанесения фоторезиста
• Размер подложки: 150 ~ 200мм
• Состав：            LD / Robot / Centering / Coater / HP / CP / ULD
• Тип робота：Трёхосевой (Опция: автоматическая система порта загрузки)

далее

• Автоматическая установка нанесения фоторезиста
• Размер подложки: 200 ~ 300мм
• Состав： Auto Load port / Robot + Track / Centering / Coater / HP / CP / ULD
• Тип робота：Трёхосевой (Опция: автоматическая система порта загрузки)

далее

• Автоматическая установка проявления фоторезиста Размер подложки：    100 — 150мм (ELS7606FA); 50 — 100мм (ELS7604FA)

• Состав：            зона загрузки / Робот / система выравнивания / система нагрева / зона выгрузки
• Тип робота：Трёхосевой
• Класс чистоты：класс 100 с HEPA фильтром

далее

• Автоматическая установка проявления фоторезиста
• Размер подложки：    150 — 200мм
• Состав：зона загрузки / Робот / система выравнивания / система нагрева / зона выгрузки
• Тип робота：Трёхосевой

далее

• Автоматическая установка проявления фоторезиста
• Размер подложки：    200 — 300мм
• Состав：автоматическая загрузка / Робот с треком / система выравнивания / система нагрева /  зона выгрузки
• Тип робота：Трёхосевой

далее

• Установка удаления фоторезиста полностью автоматическая Размер подложки：50 — 100мм (904FA); 100 — 150мм (906FA)

• Состав модуля：Загрузочный модуль / Робот / Устройство для центрирования / Система замачивания / Система удаления/ Очиститель /Устройство выгрузки пластин/
• Тип робота：M201 + 505 Track
• Контейнер для замачивания: Контейнер для замачивания пластин с химическими реагентами

далее

• Установка удаления фоторезиста полностью автоматическая
• Размер подложки：    150 — 200мм
• Состав модуля：Загрузочный модуль / Робот / Устройство для центрирования / Система замачивания / Система удаления/ Очиститель /Устройство выгрузки пластин/
• Тип робота：M201 + 505 Track

далее