AP&S — LOTUS systems — Установка ручной химической обработки

  • Установка ручной химобработки для полупроводникового производства, МЭМС, солнечных элементов
  • Загрузка: по потребности заказчика.
  • Применение: очистка, вскрытие, промывка, сушка.
  • Опции: отдельные шкафчики предварительного смешивания химических реактивов, перчаточная установка очистки, вакуумная пипетка, пистолет-распылитель азота и деионизованной воды, вертикальное перемещение партий, вращение пластин, нагревательная плита, устройство для нанесения покрытий центрифугированием, горизонтальный очиститель труб, удобное перемещение партий, микроклимат.
  • Опции для солнечных элементов: автоматическая загрузочно-разгрузочная установка для максимальной воспроизводимости результатов процесса и высокой безопасности оператора

к списку