SCIENTA OMICRON Lab10 MBE

• Установка молекулярно-лучевой эпитаксии
• Лабораторное применение: рост металлов, полупроводников (III-V, III-N, II-VI, SiGe), магнитных материалов, оксидов, органических соединений…
• Стандартная система MBE с рабочей камерой и с дополнительной камерой подготовки/хранения.
• Размер подложки: стандартный образец пластины Scienta Omicron, малые выборки до 10 x 10 мм
• Стандартная камера, диаметр: 10“. Большая камера, диаметр: 12“ — по запросу
• Конструкция камеры: до 7 портов
• Объем ячейки от 10 см3 до 35 см3. Объемы для приложений от 1,5 см3 до 5 см3.
• Расстояние от источника до подложки: 160 мм
• Исходный угол наклона: 18° => < 1% однородность толщины на 10 х 10 мм подложке
• Варианты: охлаждение, нагрев, электронно-лучевой нагрев, ультра высокая температура
• Движение по осям х/Y (± 8 мм), Z (100 мм); азимутальное вращение (±180°)
• Быстрая и надежная передача образца вместе с отличными результатами производительности и низкой стоимостью владения.
• Легкое и интуитивное программное управление ростом с возможностью стандартного анализа оборудования Scienta Omicron делает это уникальная система MBE для исследователей.
• Дисковые затворы
• Типы используемых насосов: Turbo, TSP, IGP

к списку