SCIENTA OMICRON EVO-25 MBE

• Установки молекулярно-лучевой эпитаксии
• Лабораторное применение: рост металлов, полупроводников (III-V, III-N, II-VI, SiGe), магнитных материалов, оксидов, органических соединений…
• Специализированная система MBE с рабочей камерой и с дополнительной камерой подготовки/хранения.
• Размер подложки: 1″
• Возможно исследование стандартных образцов пластин Scienta Omicron
• Конструкция камеры: до 10 портов
• Объем ячейки от 35 см3 до 80 см3. Объемы для приложений от 1,5 см3 до 5 см3.
• Расстояние от источника до подложки: 190 мм
• Исходный угол наклона: 38° => < 1% однородность толщины на 2″ подложке
• Превосходная равномерность толщины для всех размеров подложек.
• Варианты: Высокотемпературный нагрев с Ta-Wire, W-Wire, SiC or PG-Heate
• Быстрая и надежная передача образца вместе с отличными результатами производительности и низкой стоимостью владения.
• Легкое и интуитивное программное управление ростом с возможностью стандартного анализа оборудования Scienta Omicron делает это уникальная система MBE для исследователей.
• Поворотные жалюзи
• Типы используемых насосов: Turbo, TSP, IGP, Cryo

к списку