LPE PE 3061 CVD

  • Типичное применение: новое поколение дискретной технологии, мощные МОП, БТИЗ, тонкие пленки
  • Возможность толстопленочного осаждения
  • Для небольших партий с уменьшенной загрузкой пластин
  • Минимально возможная себестоимость для реакторов групповой обработки
  • Качество структур максимально приближено к качеству из реакторов обработки по одной пластине

к списку