Установки жидкостной химической обработки с автоматическим управлением AWB

AWB — это система обработки, предназначенная для использования в типичных процессах очистки и травления в оптике, а также в полупроводниковой и солнечной энергетике. Ее модульная конструкция позволяет интегрировать очень сложные процессы.

Полностью автоматизированные процессы обработки в ваннах гарантируют безопасную и надежную обработку.

Установка позволяет обрабатывать до 6 кассет одновременно для образцов с размерами до 5,7 «x 7,2», перемещая их как в горизонтальной, так и в вертикальной плоскостях.

В установке предусмотрена автоматическая дозировка веществ, температурный контроль, система циркуляции воздуха, простое управление процессами обработки и многие другие функции по запросу.

Преимущества:

• простота в эксплуатации;
• сенсорная панель управления
• контролируемое время обработки;
• все сообщения системы сохраняются в памяти;
• легко программируемые процессы;
• возможность разделения уровней доступа к управлению установкой (с помощью системы паролей);
• SECS-GEM HOST-Connection и опционально Semi S2-Standard;
• возможность совместимости с FM Global 4910.

к списку