MWB — это система, которая предназначена для использования в типичных процессах очистки и травления в оптике, а также в полупроводниковой и солнечной энергетике. Модульная конструкция и возможность гибкой настройки и подключения дополнительных аксессуаров позволяет интегрировать очень сложные процессы в промышленности и исследовательских институтах. Системы MWB изготавливаются из высококачественного пластика (полипропилена) и обеспечивают безопасную рабочую среду при работе с кислотами и основаниями.

AWB — это система обработки, предназначенная для использования в типичных процессах очистки и травления в оптике, а также в полупроводниковой и солнечной энергетике. Ее модульная конструкция позволяет интегрировать очень сложные процессы.

Полностью автоматизированные процессы обработки в ваннах гарантируют безопасную и надежную обработку. Установка позволяет обрабатывать до 6 кассет одновременно для образцов с размерами до 5,7 «x 7,2», перемещая их как в горизонтальной, так и в вертикальной плоскостях.

Система предназначена для отмывки кварцевых труб и частей оборудования.

Доступен дизайн оборудования как в вертикальном исполнении, так и в горизонтальном с учетом всех требований потребителя.

Очистители VTC / HTC имеют специальные распылительные насадки с вращающимся механизмом, которые гарантируют двустороннюю очистку кварцевых трубок, колпаков и других кварцевых устройств с использованием соответствующих адаптеров. Рециркуляция химикатов обеспечивает их минимальное потребление. Накопительная емкость для химикатов с насосом для их смешивания и рециркуляции находится в нижней части установки. Управление установкой осуществляется посредством сенсорного экрана и набором программ и рецептур отмывки изделий, что обеспечивает оператору простой и быстрый выбор программы. Вертикальный очиститель позволяет чистить трубки диаметром до 700 мм и высотой до 2000 мм. Горизонтальная модель позволяет чистить кварцевые трубки диаметром до 300 мм и длиной до 3200 мм.

Digestorium – это система жидкостной химической обработки, которая предназначена для использования в типичных процессах очистки и травления в полупроводниковой промышленности и солнечной энергетике. Все процессы происходят в безопасной зоне. С трех сторон рабочая зона ограничена непроницаемыми стенками, а передняя часть представляет собой автоматическое раздвижное окно. Это позволяет обеспечивать безопасное проведение даже критических химических процессов. Возникающие в процессе обработки пары и газы удаляются через вытяжную систему для защиты операторов и имущества лаборатории.

WSC – это система жидкостной химической обработки, предназначенная для использования в типичных процессах очистки и травления в полупроводниковой и солнечной энергетике. Чтобы гарантировать эффективную очистку, подложки вращаются во время процесса чистки. Стандартная конфигурация предназначена для пластин диаметром 4″, 5″, 6″и 8″.

Системы отмывки CBC 200 и FFC 300 являются универсальными системами для отмывки и сушки всех существующих типов кассет и боксов (SMIF, открытые кассеты, FOUP, FOSB, RSP и подложки для чипов). Изделия отмываются горячей деионизованной водой, как опция возможна добавка детергента. Дополнительный вращающийся распылительный клапан очищает внутреннюю часть FOUP. Изделия равномерно высушиваются вращением в потоке горячего воздуха, фильтруемого через HEPA фильтры. Технология обеспечивает превосходное качество отмывки и сушки.

Рабочие станции изготовлены из высококачественного пластика и разработаны индивидуально по техническому заданию заказчиков. Станции оснащены дополнительными компонентами индивидуально и оборудованы для удовлетворения потребностей клиентов. Они могут быть изготовлены без металлических компонентов по запросу заказчика.

Камера травления является широко используемым аналитическим инструментом для определения того, была ли поверхность кремниевой пластины загрязнена металлическим веществом. Камера также может использоваться в сочетании с автоматическими и неавтоматическими сканерами.

Камера подходит для пластин любых размеров до 12” (300 мм).

Корпус камеры изготовлен из чистых синтетических материалов высокого качества (PVDF, PTFE). Камера оснащена системой нагрева и охлаждения пластин.

Эта система питания позволяет безопасно работать с кислотами, основаниями и растворителями в соответствии с государственными стандартами безопасности (как в § 19 I WHG).

Система изготавливается в различных конфигурациях в зависимости от использования, для контейнеров емкостью 60 л, 100 л, 200 л и 1000 л. Контейнер подключается через переходник к корпусу. Все опасные вещества доставляются через мембранный насос и двухтрубную систему, которая должна быть установлена в здании.

Система утилизации позволяет безопасно собирать и хранить химические вещества, которые не должны попадать в сточные воды. WCCS соответствует требованиям, установленным в § 19 I WHG. Система изготавливается в различных конфигурациях с контейнерами емкостью от 20 л до 1000 л. Резервуар, содержащий химикаты, может быть безопасно подключен к инженерным системам предприятия для сбора химикатов и вытяжной вентиляции с помощью соответствующих адаптеров.

Система смешивания предназначен для разбавления химикатов путем добавления DI-H₂O до любой заданной с помощью системы управления концентрации. В системе используются датчики, дозирующий бак и дозирующий насос или расходомер. Желаемая конечная концентрация может быть перенастроена в любое время. Система изготавливается в различных конфигурациях для контейнеров различной емкости.

POU-Box – это система распределения химикатов по различным устройствам. Она соответствует высоким стандартам производства полупроводников и включает в себя датчик утечки. Количество входов и выходов может быть сконфигурировано в зависимости от количества используемых химикатов и количества устройств-потребителей. Вся распределительная арматура располагается в защитном кожухе.