• Установки для химического травления и отмывки пластин для производственных процессов и научных исследований в полупроводниковой промышленности, фотовольтаике, оптике, МЭМС,…
• Зона загрузки, ванны для травления, ванны для отмывки: с подогревом, с распылителем для промывки, с растворами, ванна финишной отмывки, зона выгрузки
• Автоматизация технологического процесса, широкий выбор настроек
• Интуитивный графический интерфейс, облегчающий процесс создания новых рецептов, их адаптирования и хранения для будущего использования.

далее

• Для производственных процессов и научных исследований в полупроводниковой промышленности, фотовольтаике, оптике, MEMS,…
• Полностью автоматизированные установки для химического осаждения меди и никеля или золота и палладия
• Обеспечение сотрудникам безопасных условий эксплуатации установок, исключение контактов с любыми химическими веществами и опасными металлами. Наличие системы блокировки
• Роботизация техпроцесса для максимальной безопасности и исключения ошибок операторов

далее

• Оборудование предназначено для мойки и чистки кремниевых труб и других деталей в полупроводниковой промышленности.
• Обеспечивает травление труб диаметром до 300 мм и длиной до 2500 мм.
• Манипулятор установит трубку на вращающиеся цилиндры, в последующем система в зависимости от выбранной рецептуры наполнит ванну химической смесью или инжектирует смесь вовнутрь трубы.
• После завершения очистки труба промывается в текущей деионизованной воде и в последующем просушивается горячим азотом.

далее

• Пористый кремний (ПК) для полупроводниковой промышленности, МЭМС, фотоэлектрических преобразователей, медицинских приложений
• ПК используется в качестве формообразующей подложки для получения наноразмерных объектов с заданными структурными параметрами.
• Развитая поверхность ПК обеспечивает улучшение адгезии осаждаемых на них пленок металлов
• Формирование ПК путем электрохимического анодирования монокристаллического кремния, с созданием тонких оксидных пленок с порами на поверхности

далее

Характеристика:

• Хранение и подача химикатов
• Смешивание химических растворов и их дозирование
• Информация о состоянии емкости пустая/полная
• Возможность прокачки системы

далее

• Шкаф для автоматизированного удаленного дистанционного снабжения химикатами в полупроводниковой промышленности и фотовольтаике
• Автоматическое переключение насоса из первой бочки от 20 до 200 литров на вторую после исчерпания первой
• Возможна система управления с тачскрином и возможностью отправления GSM сообщений о текущем рабочем режиме
• Система местного отсоса

далее