STROZA — Установка отмывки кремниевых пластин после полировки
Оборудование предназначено для автоматической мойки и сушки кремниевых пластин диаметром до 8″ после операции шлифования и полирования.
Оператор вставляет пластины в кассете в рабочую корзину в загрузочную позицию — входную двухпозиционную ванну с водой.
Двухосный манипулятор перегружает корзину по выбранной рецептуре (программе) между двумя ваннами очистки, двумя ваннами промывки и одной «ванной» для сушки.
Оборудование предназначено для работы в полупроводниковой промышленности.
Линия изготовлена полностью из нержавеющей стали и служит для постепенной очистки Si пластин диаметром 8″ в семи кассетах одновременно.
Пластины в стандартных пластмассовых кассетах, вручную вставленные в загрузочную позицию, проходят постепенно через пять ультразвуковых процессных и отмывочных ванн в «ванну» осушки и далее в позицию выгрузки.
Оборудование предназначено для мойки и чистки Si труб и других деталей в полупроводниковой промышленности.
Обеспечивает травление труб диаметром до 300 мм и длиной с 1450 по 2765 мм.
Манипулятор установит трубку на вращающиеся цилиндры, в последующем система в зависимости от выбранной рецептуры наполнит ванну химической смесью или инжектирует смесь вовнутрь трубы.
После завершения очистки труба промывается в текущей деионизованной воде и в последующем просушивается горячим азотом.
Оборудование разработано для автоматизированной подачи и распределения сверхчистых химикатов в полупроводниковой промышленности, таких как H2SO4, HF, HCl, NH4OH, H2O2,, HNO3 и др.
Электрооснастка, программное обеспечение, пневматические вентили, краны подачи, разъемы и точки подключения (все из химически стойких материалов) позволяют обеспечить контролируемое распределение химикатов до 8 мест потребления.
Шкафы полностью из пластика по стандарту FM 4910, с регулируемыми ножками и позволяют загрузку одной или двух бочек по 200 литров по встроенной роликовой дорожке.
Шкаф предназначен для высококачественной мойки переносных канистр, ящиков, контейнеров и других предметов от химического загрязнения с помощью опрыскивателей с деионизованной водой, с внешней и внутренней стороны.
Шкаф предназначен для применения в полупроводниковой промышленности.
Корпус шкафа изготовлен из белого полипропилена.
Электрический щит с кнопками управления — главным выключателем, кнопками СБРОС, СТАРТ/СТОП и таймер
STROZA — Шкаф хранения перчаток для чистых помещений
Шкаф предназначен для хранения и выдачи перчаток в чистых помещениях, особенно в полупроводниковой промышленности. Перчатки хранятся в пяти самостоятельных перегородках с крышкой (каждая для одного размера).
Шкаф из нержавеющей стали. Габариты 1000 x 340 мм, высота 303 мм.
Шкаф VMB (Valve Manifold Box) для распределения особо чистых химикатов в сети снабжения отдельных рабочих мест потребления, например, оборудования для обработки полупроводниковых материалов (кремниевые пластины, кристаллы, слитки).
Шкаф содержит 8 веток с тефлоновыми вентилями и отдельную зону для управляющих электропневматических элементов.
Шкаф полностью пластмассовый, габариты 1000 x 170 мм, высота 460 мм.
STROZA – Установка для травления полупроводниковых пластин
Оборудование предназначено для травления полупроводниковых пластин (с максимальным диаметром 4“) посредством смеси азотной, плавиковой и уксусной кислот.
Пластины после процесса травления обмываются в тройном противоточном каскаде с деионизованной водой и обсушиваются посредством воздушной обдувки при помощи плоских форсунок.
Ванна для травления наливается смесью азотной, плавиковой и уксусной кислот в регулируемом соотношении. Она изготавливается из материала PVDF. Ванну возможно закрыть посредством автоматической крышки.
Оборудование оснащено манипулятором, позволяющим полуавтоматический рабочий режим. Он находится в пространстве для травления, которое от пространства обслуживания отделяют прозрачные щиты и раздвижная дверь.
STROZA — Установка для подготовки и распределения NH4OH + DIW
Оборудование предназначено для автоматически регулируемого разжижения аммиака и деионизованной воды. Результатом является аммиачный раствор с проводимостью в указанных пределах.
Раствор, образованный таким способом, хранится в оборудовании в баке, емкостью 200 литров и поставляется в циркуляционный контур, из которого разбавленный химикат отбирают технологические агрегаты.
В циркуляционном контуре постоянно проверяется давление, расход и проводимость. Для автоматической регуляции применяется операторское программное обеспечение с контактным дисплеем и PLC.
PLC мониторит и управляет всей системой смешивания химиката.
