ООО «СтратНаноТек Инвест»

Установка вакуумного магнетронного распыления периодического действия для мелкосерийного производства
Назначение: для группового напыления высококачественных слоев токопроводящих материалов (магнетроны DC) и диэлектриков (ВЧ магнетроны), до 3-х материалов одновременно или последовательно за один цикл напыления
Подложки: 60×48 мм
Загрузка: (18÷56) шт.
Рабочая камера: ø800 мм
Нагрев пластин: ИК
Ионный источник очистки подложек для обеспечения хорошей адгезии напыляемых пленок
Подложкодержатель: планарного типа

Магнетроны DC
Контроль покрытий: система резистивного контроля по сопротивлению на свидетеле или контроля по времени
Контроль температуры на подложках обеспечивает узел свидетеля
Неравномерность покрытий: ±(2÷5)%
Высоковакуумная безмасляная система откачки
Предельное остаточное давление в рабочей камере: 5×10^-4Па
Автоматизированный процесс напыления по заранее составленному рецепту; программирование и сохранение технологических рецептов
Опционно: ВЧ магнетроны, система двухстороннего напыления

Высокопроизводительная установка вакуумного магнетронного распыления для мелкосерийного производства
Назначение: для группового одностороннего напыления высококачественных слоев токопроводящих материалов (магнетроны DC) и диэлектриков (ВЧ магнетроны), до 4-х материалов за один цикл напыления
Подложки: 60×48 мм
Загрузка: до 65 шт.
Рабочая камера: ø600 мм
Нагрев пластин: ИК
Ионный источник очистки подложек для обеспечения хорошей адгезии напыляемых пленок
Подложкодержатель: карусельного типа

Магнетроны DC
Контроль покрытий: система резистивного контроля по сопротивлению на свидетеле или контроля по времени
Контроль температуры на подложках
Неравномерность покрытий: ±2%
Высоковакуумная безмасляная система откачки
Предельное остаточное давление в рабочей камере: 5×10^-4Па
Автоматизированный процесс напыления
Опционно: ВЧ магнетроны, система ионного распыления

Установка вакуумного напыления для мелкосерийного производства
Подложки: 60×48 мм; 30×24 мм
Нагрев пластин: до 350 °С
Ионно-лучевой источник очистки подложек
Технологии напыления: магнетронное распыление, электронное испарение (с кольцевым катодом), резистивное испарение
Контроль покрытий: система резистивного контроля по сопротивлению на свидетеле
Неравномерность покрытий: ±5%
Вакуумная система: криогенный / турбомолекулярный и безмасляный форвакуумный насосы
Предельное остаточное давление в рабочей камере: 8×10^-5Па
Режимы работы: автоматический, полуавтоматический и ручной
Опционно: ионное ассистирование, система кварцевого контроля

Установка вакуумного магнетронного распыления линейного однопроходного типа для встраивания в чистую комнату
токопроводящих материалов (магнетроны DC) и диэлектриков (ВЧ магнетроны), до 3-х материалов за один цикл напыления
Подложки: до 300×300 мм
Загрузка: через шлюзовую камеру
Рабочая камера
Нагрев пластин: ИК+ТЭН
Ионный источник предварительной очистки подложек для обеспечения хорошей адгезии напыляемых пленок
Варианты расположения подложкодержателя: вертикальный или горизонтальный

Магнетроны DC
Контроль покрытий: система резистивного контроля, кварцевого контроля или контроля по времени
Производительность: до 12 м²/смену
Неравномерность покрытий: по подложке – ±0,5%; по партии – ±1,0%
Высоковакуумная безмасляная система откачки
Предельное остаточное давление в рабочей камере: 1×10^-6Па
Автоматизированный процесс напыления
Опционно: ВЧ магнетроны, нанесение до 5-ти материалов за один цикл напыления, автоматический загрузчик (SCARA)

Обратная связь