• Установки ионнолучевого травления и осаждения
• Назначение: осуществление процессов прецезионного осаждения и травления слоев матераилов при изготовлении современной магниторезистивной памяти с произвольным доступом
• Варианты конфигураций: однокамерные модули с реакторами ионнолучевого травления или осаждения; кластеры, объединяющие в своем составе от одного до трех модулей травления, осаждения или комбинации модулей травления и осаждения
• Загрузка: кассетная

далее

• Высокопроизводительная установка ионнолучевого травления с технологией планетарного сканирования для серийного производства.
• Технология планетарного сканирования — способность колебательно перемещать пластину через ионный пучок
• Назначение: осуществление процессов травления при изготовлении магниторезистивной памяти с произвольным доступом (MRAM); фильтров поверхностно-аккустических волн (SAW), объемно-аккустических волн (BAW) и пленочных объемно-аккустических резонаторов (FBAR); оптических решеток, пьезоэлектрических МЭМС; для микроструктурирования и проведения анализ отказов
• Подложки: от небольших образцов до пластин ø200 мм

далее