KOREA VAC-TEC VTC-1350DP (PVD)

• Установка вакуумного испарения (напыления) слоев оксидов в автоматическом режиме групповым методом (в т.ч. для оптики)
• Назначение: нанесение оптических покрытий на линзы;  напыление оксидов (SiO₂, Ta₂O₅, Al₂O₃, TiO₂) на подложках из Ge/Si, а также двухслойных структур SiO₂/Ta₂O₅ и Al₂O₃/TiO₂
• Объем загрузки: примерно 220 линз ø70 мм; 72 пластины ø100 мм; 45 пластины ø124 мм (для пластин в оснастке)
• Время процесса для линз: около 35 мин (зависит от процесса и условий)
• Типы наносимых покрытий: антиотражающие, антистатические, отражающие (зеркальные) и прочие (а также гидрофобные и супергидрофобные наружные покрытия)
• Размер рабочей камеры: ø1350 мм
• Материал рабочей камеры: нержавеющая сталь SUS 304
• Источник испарения электронным лучом: 6 источников размером 25см³ каждый
• Источник ионного луча: вариант с продольным ионному пучку магнитному полю (End hall) с горячим катодом
• Источник термического испарения: лодочка
• Держатель для линзы / подложки: вращающийся держатель купольного типа, разделенный на 3 сегмента (4 сегмента – по запросу потребителя); скорость вращения – (1÷50) об/мин
• Система откачки: турбомолекулярный насос с форвакуумным центробежным лопастным насосом; диффузионный масляный насос или криогенный насос  – по запросу
• Система откачки водяных паров: CRYO-6 с холодной ловушкой (-130°С)
• Температура нагрева: для линз — до 150°С; для пластин —  до 350°С
• Контроль толщины: кварцевая многосенсорная головка
• Процессные газы: аргон и кислород, подаваемые через регуляторы массового расхода (другие газы – по запросу потребителя), давление – (1÷2) бар
• Сухой очищенный сжатый воздух: 6 бар
• Охлаждающая вода: 6 бар, 250 л/мин, (10÷25)°С
• Управление установкой: полностью автоматическое управление
• Электроэнергия: 380В, 3ф, 50/60Гц, 60кВт
• Габариты: (3650×2600х2600) мм
• Необходимое пространство для размещения установки: (5000х3800х3000) мм, включая пространство обслуживания

к списку