KOREA VAC-TEC VTC 1100 PO (PVD)

• Установка вакуумного испарения (напыления) групповым методом для прецизионной оптики
• Электронная пушка – 2 комплекта с углом 270°: один – с 12 источниками (карманами) по 15 см³ каждый, второй – с карманом для твердой кремниевой мишени
• ВЧ сетчатый источник ионного луча VTC-5: частота — 13,56 МГц, мощность — до 600 Вт, ионная энергия – до 7,5 кВ, ток – до 1 А. Диаметр сетки – 100 мм. Система автоматического согласования
• Система откачки: диффузионный масляный насос, роторный механический насос,  бустерный механический насос
• Насос для водяных паров: CRYO-6 с холодной ловушкой
• Контроллер осаждения слоев с двойной кварцевой измерительной головкой с набором программ: 99 процессов, 999 характеристик слоев, 32 полные характеристики материалов
• Полнстью цифровая система оптического мониторинга
• Детектор — для видимого (до 900 нм) или ИК (от 700 до 2600 нм) диапазона. Выбор рабочей длины волны: ручной или автоматический
• Процессные газы: аргон и кислород, подаваемые через регуляторы массового расхода (другие газы – по запросу потребителя)
• Управление установкой: полностью автоматическое управление

к списку