KOREA VAC-TEC ORION-400 (PVD)

• Установка вакуумного испарения (напыления) групповым методом для оптики
• Объем загрузки: примерно 400 линз ø70 мм
• Роботизированная система полуавтоматической загрузки-выгрузки держателя подложек
• Типы наносимых покрытий: антиотражающие, антистатические, отражающие (зеркальные) и прочие (а также гидрофобные и супергидрофобные наружные покрытия)
• Размер рабочей камеры: ø1800 мм
• Установка может содержать до 3 электронных пушек
• Варианты источников испарения электронным лучом: с 4 карманами по (7÷25) см³, с 6 карманами до 40 см³ каждый, с 3 карманами типа банан по 25 см³, с карманом лоткового типа по (190÷383) см³, с карманом типа поддона по (150÷343) см³     
• Источник термического испарения
• Держатель для линз: вращающийся алюминиевый держатель купольного типа, разделенный на 4 сегмента
• Система откачки: диффузионный водоохлаждаемый насос,   роторный насос, бустерный насос
• Насос для водяных паров: CRYO-6 с холодной ловушкой
• Предельное давление вакуума: 1·10^-6 торр
• Система нагрева подложен с 6 инфракрасными излучателями и автоматической системой управления
• Температура нагрева: до 300°С
• Контроллер осаждения с набором программ: 99 процессов, 999 характеристик слоев, 32 полные характеристики
• Контроль толщины: одно-, двух- или шести- кристаллов сенсорная головка (по запросу потребителя)
• Процессные газы: аргон и кислород, подаваемые через регуляторы массового расхода (другие газы – по запросу потребителя)
• Управление установкой: полностью автоматическое управление, компьютер с сенсорным дисплеем
• Сухой очищенный сжатый воздух: (5÷6) кг/см²
• Охлаждающая вода: (3÷5) кг/см²
• Электроэнергия: 63кВт
• Габаритные размеры: 6300 х 3800 х 3050 мм

к списку