• Кластерная установка для магнетронного напыления, высокоионизированного физического осаждения из газовой фазы, мягкого травления и плазмоактивированного химического осаждения из газовой фазы от НИОКР до прототипирования и массового производства
• Назначение: изготовление пьезоэлектрических приборов (слои AlN, AlScN, ZnO, Ti-Mo, Ti-Pt, Al, Al-сплавы, W, SiO₂, Si₃N₄ и т.д.), пакетных сборок (слои Ti-Cu, TiW-Cu, TiW-Au, TiW(N)-Au, Ti-NiV-Cu, Al-NiV-Cu, TaN, SiCr, NiFe и т.д.), металлизация обратной стороны пластин ( слои Al-Ti-NiV-Ag, Ti-NiV-Ag/Au, Cr-Ni-Ag/Au, AuAs-Ag-NiV-AgGe и т.д.), светодиодов (SiN_x, SiO_xN_y), МЭМС, тонкопленочных головок, солнечных элементов, наноструктур и т.д.
• Кластер содержит до 6-ти различных модулей 
• Конфигурации: для обработки одиночных пластин применяются Single Process Modules (SPM); для групповой обработки пластин – Batch Process Module (BPM)
• Подложки ø4″, ø5″, ø6″, ø8″ толщиной от 70 мкм до 6 мм
• Групповая единовременная обработка: до (20+1) подложек ø6“; до (15+1) подложек ø8”
• Температура подложкодержателя контролируется в диапазоне (-30 ÷ +800)°C
• Двухкасетный шлюз для загрузки и выгрузки пластин без контакта с оператором

• Кластерная промышленная установка для для магнетронного напыления, высокоионизированного физического осаждения из газовой фазы, мягкого травления при массовом производстве
• Назначение: изготовление пакетных сборок (слои Ti-Cu, TiW-Cu, TiW-Au, TiW(N)-Au, Ti-NiV-Cu, Al-NiV-Cu, TaN, SiCr, NiFe и т.д.), металлизация обратной стороны пластин / проведения процессов на утоненных пластинах ( слои Al-Ti-NiV-Ag, Ti-NiV-Ag/Au, Cr-Ni-Ag/Au, AuAs-Ag-NiV-AgGe и т.д.)
• Подложки: ø200 или ø300 мм толщиной от 300 мкм до 4 мм
• Температура подложкодержателя контролируется в диапазоне (-30 ÷ +500)°C
• Кластер содержит до 6-ти процессных модулей и две кассетные загрузочные станции
• Модуль PVD оснащается источником распыления постоянного или импульсного постоянного тока
• Мультиисточники с вращающимся держателем – до 4-х источников ВЧ или постоянного тока на одном модуле для одиночной мишени или одновременного распыления.
• Модули загрузки с загрузочными портами для 300 мм FOUP или открытых кассет для 200 мм пластин

• Многофункциональная кластерная платформа напыления для одиночной  или групповой обработки подложек при производстве сложных оптических пакетов в фотонике, сверхярких светодиодов, прецизионной оптики и оптических МЭМС
• Назначение: осаждение металлов, токопроводящих оксидных слоев и диэлетриков для изготовления оптических фильтров, просветляющих покрытий, оптических МЭМС, фотоэлектрических датчиков, сверхярких светодиодов, силовых приборов, приборов беспроводной связи, металлизации пластин, тонких пленок головок, ПАВ и т.д.
• Подложки: до ø200, вариант – ø300
• Конфигурации:

— Одиночный модуль для НИОКР с однопластинной обработкой (SPM) и ручной загрузкой по одной пластине обеспечивает напыление от одного или нескольких источников и мягкое травление.

— 8-торонняя кластерная платформа с присоединением до 6-ти модулей с однопластинной обработкой (SPM) и вакуумной кассетной автоматической загрузкой обеспечивает напыление от одного или нескольких источников, мягкое травление, дегазацию (опционно – PECVD и RIE);

— 4-хсторонняя кластерная платформа с присоединением до 2-х модулей с групповой обработкой пластин (BPM), включающие до 4-х станций напыления, 1 модуля дегазации / травления и вакуумной кассетной автоматической загрузкой;

— 4-хсторонняя комбинированная кластерная платформа с присоединением до 2-х модулей с однопластинной обработкой (SPM) и 1 модуля с групповой обработкой пластин (BPM) и вакуумной кассетной автоматической загрузкой обеспечивает напыление от одного или нескольких источников, динамическое напыление, мягкое травление, дегазацию.

• Вариант загрузки: до 25 пластины ø100 мм, до 18 пластины ø150 мм, до 13 пластины ø200 мм, или до 10 квадратных подложек 150 х 150 мм
• Для кластерных конфигураций: транспортный модуль с роботом и вакуумным элеватором,  кассетная транспортировка, модули загрузки и разгрузки
• Температура подложкодержателя: SPM – до 850°C; BPM – до 350°C
• Система охлаждения подложкодержателя

• Кластерная промышленная установка напыления на одиночные пластины для многоуровневой сборки, металлизация обратной стороны пластин, дегазаци и мягкого травления ИСП
• Подложки ø200 или ø300 мм
• Кластер содержит до 5 процессных модулей и два загрузочных модуля
• Модули загрузки с загрузочными портами для 300 мм FOUP или открытых кассет для 200 мм пластин
• Температура подложкодержателя контролируется в диапазоне от -30°C до 300°C
• Подложкодержатель: металлический или керамический с механическим зажимом, электростатическим прижимом или бесконтактный держатель с маской; с ВЧ–напряжением смещения
• Системы газового нагрева/охлаждения задней стороны подложкодержателя для точного поддержания температуры подложки
• Встроенное устройство для совмещения пластины и станция переворота пластины для металлизации обратной стороны пластины

• Универсальная кластерная платформа напыления на вертикально расположенные подложки металлов, токопроводящих оксидных слоев и магнитных пленок для серийного производства
• Назначение: осаждение многослойных магнитных слоев (например, NiFe, CoFeB, CoTaZr, ламинированных AlN, Al₂O₃, SiO₂), осаждение металлов и сплавов (AuSn, AuZn, WTi, NiTi, TiN, Au, Al, Ag, Ti, Ni, Cu, Cr), осаждение Co с использованием до трех источников и т.п.
• Варианты загрузки: ручная или автоматическая из кассеты
• Ручная загрузка партий подложек одинаковых или разных размеров: ø2”– до 132шт, ø3” – до 72шт, ø4” – до 36шт, ø5” – до 30шт, ø6” – до 12шт и ø8” – до 9шт
• Максимальный размер подложек при групповой обработке: 200×230 мм
• Загрузочная камера с дегазацией. Возможность нагрева и очистки с помощью высокочастотного или ионно-лучевого травления.
• 6-осевой автоматизированный робот с кассетным буфером, с выравнивателем по плоскости и срезу и считывателем штрих-кода
• Количество процессных модулей: до 5-ти

• Установка электронно-лучевого (термического) нанесения металлов и диэлектриков для НИОКР и мелкосерийного производства
• Назначение: осаждение слоев Al, Au, Ti, Pt, Cu, Ni, Cr, Mg, Mo, SiO₂, Al₂O₃, MgF и пр. для полупроводникового производства, оптоэлектроники, оптики и микрооптики
• Загрузка: ручная, 47 пластин ø2″/ 20 пластин ø3″/ 9 пластин ø4″/ 5 пластин ø6″/ 3 пластины ø8″
• Система вращения держателей пластин
• Варианты держателей пластин: планетарная Кнудсена; флип-система для двустороннего покрытия; пользовательские системы
• Электронно-лучевая пушка EBS 500
• Термический источник
• Источник ионного напыления

• Установка электронно-лучевого нанесения металлов и диэлектриков
• Назначение: осаждение слоев металлов и диэлектриков для полупроводникового производства, оптоэлектроники, прецизионной оптики, а также нанесение в реактивном, высокотемпературном процессе тонкопленочных слоев индиево-оловянного оксида для оптоэлектроники, солнечных элементов и LCD
• Подложки: кремниевые или стеклянные пластины
• Загрузка: 95 пластин ø2″/ 36 пластин ø3″/ 24 пластины ø4″/ 9 пластин ø6″/ 6 пластин ø8″
• Система вращения держателей пластин
• Варианты держателей пластин: стандартная – купольная; опционно — планетарная, флип-система, пользовательские
• До двух электронно-лучевых источников ESQ 212
• Источники резистивного нагрева

• Установка напыления для оптоэлектронного и полупроводникового серийного производства
• Назначение: осаждение слоев металлов и диэлектриков для фильтров поверхностно-аккустических волн, светодиодов, МЭМС, силовых приборов, оптики, фотоэлектрических приборов, датчиков
• Загрузка: ручная или кассетная, 152 пластины ø2″/ 64 пластины ø3″/ 40 пластин ø4″/ 18 пластин ø6″/ 9 пластин ø8″
• Система вращения держателей пластин
• Варианты держателей пластин: стандартная – купольная; опционно – планетарная, флип-система, пользовательские
• Варианты конструкции рабочей камеры: Standart Throw – для типового осаждения металлов и диэлектриков; Extended Throw – для “lift off”; Split Chamber – для реактивных материалов; Extended rear – для осаждения и травления по требованиям заказчика
• До трех электронно-лучевых источников EBS 500
• Термические источники

• Среднеразмерная установка физического осаждения и травления для оптоэлектронного и полупроводникового серийного производства
• Назначение: осаждение слоев металлов и диэлектриков для фильтров поверхностно-аккустических волн, светодиодов, МЭМС, силовых приборов, оптики, фотоэлектрических приборов, датчиков
• Загрузка: ручная или кассетная, 186 пластин ø2″/ 88 пластин ø3″/ 51 пластина ø4″/ 23 пластины ø6″/ 10 пластин ø8″
• Система вращения держателей пластин
• Варианты держателей пластин: стандартная – купольная; опционно – планетарная, флип-система, пользовательские
• Варианты конструкции рабочей камеры: Standart Throw – для типового осаждения металлов и диэлектриков; Extended Throw – для “lift off”; Split Chamber – для реактивных материалов; Extended rear – для осаждения и травления по требованиям заказчика
• До трех электронно-лучевых источников
• Термические источники

• Установка физического осаждения и травления для рентабельного круглосуточного,  крупносерийного оптоэлектронного и полупроводникового производства, прецизионной оптики
• Назначение: осаждение слоев металлов и диэлектриков для фильтров поверхностно-аккустических волн, светодиодов, МЭМС, силовых приборов, оптики, фотоэлектрических приборов, датчиков
• Загрузка: ручная или кассетная, 216 пластин ø2″/ 104 пластины ø3″/ 64 пластины ø4″/ 24 пластины ø6″/ 16 пластин ø8″
• Система вращения держателей пластин
• Варианты держателей пластин: стандартная – купольная; опционно – планетарная, флип-система, пользовательские
• Варианты конструкции рабочей камеры: Standart Throw – для типового осаждения металлов и диэлектриков; Extended Throw – для “lift off”; Split Chamber – для реактивных материалов; Extended rear – для осаждения и травления по требованиям заказчика
• До трех электронно-лучевых источников EBS 500
• Термические источники

• Установка физического осаждения и травления для крупносерийного оптоэлектронного и полупроводникового производства, прецизионной оптики
• Загрузка: ручная или кассетная, 330 пластин ø2″/ 167 пластин ø3″/ 104 пластины ø4″/ 47 пластин ø6″/ 28 пластин ø8″
• Система вращения держателей пластин
• Варианты держателей пластин: стандартная – купольная; опционно – планетарная, флип-система, пользовательские
• Варианты конструкции рабочей камеры: Standart Throw – для типового осаждения металлов и диэлектриков; Extended Throw – для “lift off”; Split Chamber – для реактивных материалов; Extended rear – для осаждения и травления по требованиям заказчика
• 6 ячеек для электронно-лучевых источников EBS
• Термические источники
• Цилиндрические источники и эффузионные ячейки

• Установка физического осаждения и травления для рентабельного круглосуточного,  массового оптоэлектронного и полупроводникового производства, прецизионной оптики
• Загрузка: ручная или кассетная, пластины ø2″ и ø3″ – по запросу/ 256 пластин ø4″/ 114 пластин ø6″/ 65 пластин ø8″
• Система вращения держателей пластин
• Варианты держателей пластин: стандартная – купольная; опционно — планетарная, флип-система, пользовательские
• Варианты конструкции рабочей камеры: Standart Throw – для типового осаждения металлов и диэлектриков; Extended Throw – для “lift off”; Split Chamber – для реактивных материалов; Extended rear – для осаждения и травления по требованиям заказчика
• Комплект из нескольких электронно-лучевых источников EBS
• Термические источники
• Цилиндрические источники и эффузионные ячейки

• Высокопроизводительная узкоспециализированная установка магнетронного напыления для массового производства в области высокоточной оптики и оптоэлектроники
• Назначение: для производства высококачественных металлических, диэлектрических и оптических слоев, включая полосовые фильтры, просветляющие покрытия на стекле и полимерных подложках, формирования изображений узкополосных режекторных фильтров, прозрачных проводящих оксидов  и прочего
• Варианты исполнения (модели) установки: MSP 1225 и MSP 1232
• Загрузка: MSP 1225 — 96 пластин ø4″/ 44 пластин ø6″/ 16 пластин ø8″/ 12 пластин ø10″/ 10 пластин ø12″/ 60 подложек 180 х 110 мм/ 48 подложек 180 х 136 мм/  24 подложек 270 х 136 мм; MSP 1232 — 160 пластин ø4″/ 66 пластин ø6″/ 32 пластин ø8″/ 24 пластин ø10″/ 10 пластин ø12″/ 90 подложек 180 х 110 мм/ 72 подложек 180 х 136 мм/  48 подложек 270 х 136 мм; максимальный размер подложки — 560×380 мм
• Площадь напыления: MSP 1225 – 1,5 м²; MSP 1232 – 2,2 м²
• Система вращения держателей пластин
• До 6 катодов для напыления постоянным током / сдвоенными магнетронами
• Встроенный источник плазмы для выполнения предварительной очистки и возможности получения новых вариантов нанесения покрытия