ASM XP8 QCM PEALD/PECVD

• Автоматическая высокопроизводительная многокамерная  установка плазмостимулированного атомно-слоевого осаждения / плазмостимулированного химического осаждения из газовой фазы для крупносерийного производства
• Назначение: высокотемпературное / низкотемпературное осаждение SiO₂; осаждение слоев SiN остановки травления, разделительных слоев, изолирующих слоев в сквозных отверстиях в кремнии, пленок для конформного легирования и пр.
• Суммарно до 16 независимых рабочих камер малого объема (до 4-х счетверенных камерных модулей)
• Пластины: ø300мм
• Обработка по одной пластине в камере
• Загрузка: через 4 вакуумируемых загрузочных шлюза
• Загрузка в SMIF-контейнерах
• Загрузочный робот с 2-мя рабочими лопатками
• Газовые линии с РРГ
• Применяемые газы: Ar, N₂ и прочие
• Источник плазмы: 13.56 МГц или 27 МГц
• Высокопроизводительная вакуумная система с безмасляными насосами
• Система управления: компьютерная
• Стойка питания
• Электроэнергия: (200÷208)В, 250А, 3ф, 50/60Гц  

к списку