Applied Materials

Applied Materials AMAT Endura 5500 PVD 150/200mm

  • Автоматическая многокамерная установка физического осаждения из газовой фазы с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: физическое осаждение из газовой фазы алюминия (Al), титана (Ti), нитрида титана (TiN), титана/нитрида титана (Ti/TiN), алюминия-кремния-меди (AlSiCu), алюминия/титана (Al/Ti), тантала (Ta), алюминия-меди (AlCu), меди (Cu) и прочих
  • Кассетная загрузка / загрузка в SMIF-контейнерах
  • 2 кассетные загрузочные камеры

далее

Applied Materials AMAT Endura CIRRUS HT Co PVD 300mm

  • Автоматическая многокамерная установка физического осаждения из газовой фазы с  шлюзовой загрузкой для массового производства DRAM-структур
  • Назначение: физическое осаждение из газовой фазы кобальта (Co) для образования подслоя силицида кобальта с последующим осаждением слоев  нитрида титана (TiN) в условиях вакуума
  • 3 кассетные загрузочные камеры
  • 2 камеры дегазации

далее

Applied Materials AMAT Endura UHV PVD 300mm

  • Автоматическая многокамерная установка физического осаждения из газовой фазы с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: физическое осаждение из газовой фазы алюминия (Al), титана (Ti), нитрида титана (TiN), титана/нитрида титана (Ti/TiN), меди (Cu), нитрида тантала (TaN), никеля-платины (NiPt), кремния-кобальта-никеля (SiCoNi) и прочих
  • Загрузка в FOUP-контейнерах
  • 2 кассетные загрузочные камеры

далее

Applied Materials AMAT Endura II PVD 300mm

  • Автоматическая многокамерная установка физического осаждения из газовой фазы с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: физическое осаждение из газовой фазы кобальта (Co), никеля (Ni), никеля-платины (Ni-10%Pt),  алюминия (Al), титана (Ti), нитрида титана (TiN), титана/нитрида титана (Ti/TiN), алюминия-меди (AlCu),  вольфрама (W), кремния (Si), кремния- кобальта- никеля (SiCoNi), алюминия/титана (Al/Ti), меди (Cu) и прочих
  • Загрузка в SMIF-контейнерах / загрузка в FOUP-контейнерах
  • 3 кассетные загрузочные камеры

далее

Applied Materials AMAT Endura IMPULSE PCRAM PVD 300mm

  • Автоматическая многокамерная установка физического осаждения из газовой фазы с  шлюзовой загрузкой для массового производства магниторезистивой памяти  — магниторезистивной памяти с произвольным доступом (ReRAM) и памяти с изменяемым фазовым состоянием вещества (PCRAM)
  • Назначение: физическое осаждение из газовой фазы халькогенидного стекла, состоящего из германия (Ge), сурьмы (Sb) и теллура (Te) — специализированные импульсные GST PVD камеры осаждают сложный материал с фазовым переходом, который превращается из высокопроводящего аморфного состояния в низкопроводящее кристаллическое состояние при воздействии тепла через электрический ток. Другие версии камер Impulse оптимизированы для нанесения в них оксидов металлов и нитридов с исключительным контролем толщины и однородности состава в качестве резистивных запоминающих материалов для применения в ReRAM. Осаждение в камере Avenir RF PVD слоя OVON — соединение германия (Ge), мышьяка (As) и селена (Se), изменяющегося от проводящего к резистивному, в зависимости от напряжения.
  • 3 кассетные загрузочные камеры
  • 2 камеры дегазации

далее

Applied Materials AMAT Endura Clover MRAM PVD 300mm

  • Автоматическая многокамерная установка физического осаждения из газовой фазы с  шлюзовой загрузкой для массового производства магниторезистивой памяти  — магнитных устройств с произвольным доступом (MRAM)
  • Назначение: физическое осаждение из газовой фазы металлических слоев (до 5 материалов в одной камере) в условиях вакуума
  • 3 кассетные загрузочные камеры
  • 2 камеры дегазации

далее