АО «Кварц»

Оратория 29М

Автоматизированная установка вакуумного напыления (магнетронного распыления) для серийного производства
Назначение: для нанесения металлических пленок алюминия, титана, никеля, молибдена при производстве изделий электронной техники и пр.
Подложки: пластины ø76 мм, ø100 мм
Загрузка: автоматическая загрузка пластин на конвейер из кассеты и выгрузку пластин в кассету, счет загружаемых и выгружаемых пластин, световую и звуковую сигнализацию об окончании загрузки и выгрузки пластин
Производительность: ≥ 100 пластин в час
Регулируемая скорость конвейера: (120÷400) мм/мин
Ручное управление скоростью конвейера, током нагревателя пластин
Возможность корректировки параметров режима во время процесса без его останова («ручной режим»)
Возможность создавать любые новые техпроцессы самостоятельно

Показать больше

Протоколирование техпроцессов, позволяющее технологу проводить контроль и оперативное выявление причин возникновения брака в производстве покрытий
Непрерывный мониторинг оборудования и управление его работой при возникновении аварийных ситуаций
Диагностика и регистрация параметров функционирования основных систем оборудования позволяет оперативно находить возникающие неполадки и неисправности
Количество магнетронов: 3
Мощность магнетронов: (2÷6) кВт
Радиочастотный плазменный генератор: РПГ-250
Глубина очистки пластин: ≥ 10 нм
Осаждаемые металлы: Al, Ti, Ni, Mo
Неравномерность толщины напыленных пленок: ≤ 3%
Газовые линии с РРГ: до 4
Применяемые газы: Ar, N₂, и пр.
Система управления: компьютерная / ручная
Вакуумная система: криогенный и безмасляный форвакуумный насосы

Показать меньше

Оратория 5-1 / 5М

Автоматизированная установка вакуумного напыления (магнетронного распыления) для серийного производства
Назначение: для нанесения металлических пленок алюминия, титана, никеля, молибдена при производстве изделий электронной техники и пр.
Подложки: пластины ø76 мм, ø100 мм, ø150 мм, 60х48 мм
Одновременная загрузка подложек: 60х48 мм – до 15 шт., ø76 мм – до 15 шт.
Загрузка: шлюзовая камера для загрузки-выгрузки пластин
Производительность: ≥ 150 пластин в час для пластин ø76 мм
Температура нагрева подложек: (100÷500)°С
Нагрев подложек: кварцевыми галогеновыми лампами

Показать больше

Планетарная система вращения подложек: 9,8 об/мин
Ручное управление скоростью конвейера, током нагревателя пластин
Возможность корректировки параметров режима во время процесса без его останова («ручной режим»)
Возможность создавать любые новые техпроцессы самостоятельно
Протоколирование техпроцессов, позволяющее технологу проводить контроль и оперативное выявление причин возникновения брака в производстве покрытий;
Непрерывный мониторинг оборудования и управление его работой при возникновении аварийных ситуаций;
Диагностика и регистрация параметров функционирования основных систем оборудования позволяет оперативно находить возникающие неполадки и неисправности
Количество магнетронов: 2
Мощность магнетронов: (2÷6) кВт
Радиочастотный плазменный генератор: РПГ-250
Глубина очистки пластин: ≥ 10 нм
Осаждаемые металлы: Al, Ti, Ni, Mo
Неравномерность толщины напыленных пленок: ≤ 3%
Применяемые газы: Ar, сжатый воздух и пр.
Жидкий азот для азотной ловушки
Система водяного охлаждения
Система вентиляции
Система управления: компьютерная / ручная
Вакуумная система: криогенный / турбомолекулярный и безмасляный форвакуумный насосы
Рабочий вакуума: 5*10^-5 Па
Электроэнергия: 380В, 3ф, 50гц

Показать меньше

Оратория 9-1 / 9М

Автоматизированная установка вакуумного напыления (методом термического испарения) для серийного производства
Назначение: для осаждения многослойных тонких пленок из металлов, сплавов и диэлектриков методом термического испарения материала электроннолучевыми испарителями на кремниевые подложки
Подложки: пластины до ø100 мм
Количество подложек на сферической карусели: 40шт.
Цилиндрическая рабочая камера
Температура нагрева подложек: (100÷350)°С
Нагрев подложек: блок ИК- нагрева
Роторно-планетарное подколпачное устройство

Показать больше

Автоматическое выполнение программ от «загрузки до выгрузки»
Контроль и автоматическое окончание процесса напыления по времени или по заданной толщине пленки
Количество электронно-лучевых испарителей: 2
Мощность электронно-лучевых испарителей: 12 кВт
Азотные ловушки (жидкий азот)
Система водяного охлаждения
Система подачи горячей воды для обезгаживания
Управление: полуавтоматическое
Вакуумная система: криогенный / турбомолекулярный и безмасляный форвакуумный насосы
Предельное остаточное давление в рабочей камере: 6,65*10^-5 Па

Показать меньше

УВН-74П-3М-(1/2/3)

Автоматизированная установка вакуумного напыления (термического или магнетронного) для НИОКР и серийного производства
Назначение: для двухстороннего нанесения проводящих слоев различных материалов методом термического, или магнетронного напыления пленочных элементов и схем на ситалловых и поликоровых подложках
Подложки: 30х24х0,6 мм (1), 60х48 мм ( 1 / 2 / 3 )
Одновременная загрузка подложек: 30х24х0,6мм – до 160шт. (1), 60х48мм – до 40шт. (1/2) / до 60 шт. (3)
Размеры рабочей камеры: ø700х550 мм
Температура нагрева подложек: (100÷350)°С ( 1 / 2 / 3 )
Безшестереночный барабан вращения подложек
Скорость вращения: (10÷60) об/мин ( 1 / 2 / 3

Показать больше

Регулируемый по скорости привод барабана
Пневматический привод заслонки
Ионная (1 / 2 ) / Ионно-плазменная (3) очистка подложек
Ток ионной очистки: 150 мА
Резистивный испаритель: 1 шт. (1)
Максимальная мощность резистивного испарителя: 2 кВт (1)
Магнетроны: 2 шт. (2)
Электронные испарители с кольцевым катодом: 2 шт. (1)
Максимальная мощность электронного испарителя: 2,5 кВт (1)
Осаждаемые металлы: Al, Ti, Cr, Cu и пр.
Применяемые газы: Ar, сжатый воздух и пр.
Давление сжатого воздуха: (3÷5) атм
Автономная система оборотного водоснабжения (3)
Система вентиляции
Система управления: автоматическая / ручная; возможность управления через модем – дистанционное управление технологическим процессом, осуществление онлайн настройки, передача данных о неисправности в службу поддержки (3)
Автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки» ( 1 / 2 / 3 )
Контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению «свидетеля» ( 1 / 2 )
Контроль напыляемого слоя по системе зеркал (3)
Вакуумная система: криогенный / турбомолекулярный и безмасляный форвакуумный насосы ( 1 / 2 / 3 )
Время подготовки к работе с учетом «разгона» крионасоса: ≤ 90 мин. (1), ≤ 80 мин. (2)
Предельный вакуум в рабочей камере: 5*10^-7 мм рт.ст. (1)
Электроэнергия: 380В, 3ф, 50гц, 15 кВт (1)
Габаритные размеры: установки – 1500х2710х2150 мм; шкафа управления – 950х600х1750 мм (1)
Масса: установки – 1250 кг; шкафа управления – 450 кг (1)

Показать меньше

УВН-71П-3М-1

Автоматизированная установка вакуумного напыления (термического испарения) для серийного производства
Назначение: для одностороннего нанесения резистивных и металлических слоев в высоком вакууме методом термического испарения на керамические, кремниевые и другие плоские подложки
Подложки: пластины до ø100 мм, 60х48 мм
Одновременная загрузка подложек: 60х48мм – до 19шт.
Размеры рабочей камеры: ø500х640 мм
Температура нагрева подложек: (100÷350)°С
Скорость вращения карусели: (10÷60) об/мин
Ионная очистка подложек

Показать больше

Испаритель для нанесения резистивных сплавов: 1 шт.
Испарители для нанесения металлических слоев: 2 шт.
Максимальная мощность испарителя: 2 кВт
Расход сжатого воздуха: до 30 л/ч
Азотные ловушки (жидкий азот)
Система водяного охлаждения: до 600 л/ч
Система нагрева колпака для обезгаживания: до 200 л/ч
Система вентиляции
Система управления: автоматическая / ручная
Автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»
Контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению «свидетеля»
Вакуумная система: криогенный / турбомолекулярный и безмасляный форвакуумный насосы
Время подготовки к работе с учетом «разгона» крионасоса: ≤ 60 мин.
Рабочее давление в камере: 1х10^-5 мм рт.ст.
Электроэнергия: 380В, 3ф, 50гц, 15 кВт
Габаритные размеры установки: 1500×900×2650 мм
Масса установки: 1200 кг

Показать меньше

Обратная связь

АО «Кварц»

Оратория 29М

Оратория 5-1 / 5М

Оратория 9-1 / 9М

УВН-74П-3М-(1/2/3)

УВН-71П-3М-1

Презентации

Инженерное оборудование

Технологическое оборудование