TORR INTERNATIONAL SERVICES LLC

Torr серия CRTE

  • Компактная настольная установка термического испарения для НИОКР
  • Назначение: осаждение различных веществ, в том числе органических материалов для создания органических светоизлучающих диодов (OLED) и прочего
  • Вариант конфигурации установки: Th3-2kw – установка с 3-мя источниками питания мощностью по 2 кВт
  • Загрузка: ручная с загрузчной камерой / без загрузочной камеры
  • Варианты конфигурации рабочей камеры: шкафного типа, D-образные камеры (из электрополированной нержавеющей стали), классические системы с колпаками из электрополированной нержавеющей стали или стекла.
  • Смотровое окно на передней дверце: Ø 4” с ручным затвором
  • Подложкодержатель: на один или несколько образцов
  • Варианты конфигурации подложкодержателпя: плоские / куполообразные; с вращением / без вращения; с углом наклона / без угла наклона; охлаждаемые водой или жидким азотом / нагреваемые до 800 °C
  • Количество источников нагрева с индивидуальными заслонками: до 4-х
  • Система управления полуавтоматическая: компьютерная / с программируемым логическим контроллером
  • Кварцевый датчик толщины SQC 310 с контроллером осаждения
  • Полнодиапазонный вакуумметр с цифровым дисплеем и устройством вывода информации
  • Стандартная вакуумная система: турбомолекулярные / криогенные / диффузионные и форвакуумные насосы
  • Занимаемая площадь: 20”× 24”
  • Опции: безмасляные форвакуумные насосы, система плазменной очистки камеры, кварцевые лампы для нагрева до (250÷500) °С, чиллер и т.д.