• Печь однотрубчатая для научных исследований
• Все основные атмосферные и CVD процессы
• Рабочая зона реактора 10-12” с загрузкой до 50 пластин.
• Температурный диапазон: от 200 до 1250 °С

далее

• Печь однотрубчатая для научных исследований и опытного производства
• Все основные атмосферные и CVD процессы
• Рабочая зона реактора 10-12” с загрузкой до 50 пластин.
• Температурный диапазон: от 200 до 1250 °С

далее

• Горизонтальная печь для мелкосерийного производства
• Количество рабочих труб: от двух до четырех
• Рабочая зона реактора: до 300 мм
• Температурный диапазон: от 200 до 1250 °С

далее

• Горизонтальная печь для серийного производства со специально сконструированным загрузчиком для работы с 150 мм пластинами, пластинами 125 х 125 мм
• Количество рабочих труб: до четырех
• Рабочая зона реактора 28-30” или 38-40”
• Температурный диапазон: от 200 до 1250 °С

далее

• Вертикальные печи низкого давления
• Thermco VTR 6000, для работы с пластинами 150мм
• Thermco VTR 7000, для работы с пластинами 200мм
• Технологические платформы: VTP 1500 / TVP 1500X

далее

• Максимальная высота 3,1 метра для возможности установки в производственные помещения с ограниченной высотой
• Горизонтальные печи для работы с 200мм пластинами, либо пластинами 156 х 156мм
• Максимальная температура – 1250 градусов цельсия
• Обработка до 50 пластин единовременно

далее

Отжиг с использованием водорода является стандартным процессом в полупроводниковой промышленности, который был также используется в других производственных процессах. Thermco Systems предлагает специальное оборудование для этого процесса учитывающее требования по безопасности, связанные с выводом H2 из печи:

• При соотношениях 5% или менее H2 в инертном газе, таком как азот или аргон, нет риска взрыва
• Для соотношений 5 — 20% Thermco обеспечивает специальную низкопотоковую систему сжигания водорода
• Для соотношений> 20% Thermco предлагает высокопотоковую систему для выжигания водорода

далее

• Thermco Systems производит полное восстановление и модернизацию высокопроизводительных вертикальных печей компании TEL: TEL Thermco HTR, TEL Horizontal, TEL VCF / VDF, Alpha 8S, Alpha 8SE, SC300, Formula
• Производится замена вышедших из строя или устаревших частей
• Производится замена кварцевой оснастки
• Проводится модернизация системы управления, замена контроллера и управляющего ПО

далее