• 5 независимых реакторов
•  3200 подложек в час
• Предустановленные рецепты техпроцессов для до 140 Ω/sq с хорошей равномерностью удельного сопротивления по пластине
• Интегрированное решение, полная автоматизация

далее

• 4независимых реакторов
• 1600 подложек в час
• Предустановленные техпроцессы
• Полная автоматизация смены кассеты

далее

• Процессы легирования (POCl3, BBr3), отжиг и оксидирование в нормальной атмосфере
• Полностью автоматизированная система
• 5 независимых реакторов
•  3200 подложек в час

далее

• Печи для НИОКР и ОП, процессы: POCl3, BBr3, отжиг/оксидирование, PECVD
• Доступен новый продвинутый Ox-Poly процесс
• Производительность от 25 до 1000 ячеек в час на реактор
• Многозадачные атмосферные/CVD процессные камеры для различных типов кремниевых подложек

далее

•  Небольшая вертикальная печь с двухреакторной конфигурацией позволяет обрабатывать 200мм платины с роботизированной системой загрузки на одну пластину. Реализована возможность последовательной обработки в двух реакторах с автоматизированной передачей пластин из одного реактора в другой в инертной атмосфере.
• Предустановленные техпроцессы
• Двухреакторная система 400мм сечение реактора
• Система загрузки поддерживает до 4ех кассет

далее

• Вертикальные печи, предназначенные для НИОКР и ОП
• От одного до 4 независимых реакторов
• Сечение реактора от 300мм до 600мм
• Температурный диапазон от 380 до 1350 ⁰С

далее

• Вертикальные печи, предназначенные для массового производства
• 4 независимых реакторов
• Сечение реактора от 600мм до 1100мм
• Температурный диапазон от 380 до 1350 ⁰С

далее