• Установка термической обработки для кремниевых пластин до 200 мм.
• Максимально увеличивая эффективность и производительность за счет постоянного совершенствования, в результате ALPHA-8S является новым стандартом на рынке вертикальных печей.
• Система обеспечивает широкий спектр технологических применений, таких как влажное / сухое окисление, отжиг, LPCVD из Si, Si3N4 и SiO2.
• Доступны различные типы UGK (Up Grade Kit), которые включают контроллер графического интерфейса пользователя и другие опции для повышения его производительности и продления срока службы продукта.

далее

• Установка термической обработки для кремниевых пластин 300 мм.
• оснащение функциями, основанными на высоких технологиях ALPHA-8SE.

далее

TELINDY PLUS ™ представляет собой сочетание опыта и передовых технологий термической обработки. TELINDY PLUS ™ включает в себя специализированные функции, первоначально разработанные для коротких циклов в мелкосерийной системе TELFORMULA ™, а также проверенные на практике высокопроизводительные элементы дизайна на платформе TELINDY™ предыдущего поколения. Улучшенный доступ в зону технического обслуживания за счет оптимизации архитектуры системы позволяет сократить время простоя оборудования.

далее

TELINDY PLUS ™ IRad ™ является комбинацией между крупносерийными системами термической обработки и плазменной обработки. TELINDY PLUS ™ IRad ™ сохраняет все конструктивные преимущества проверенной на практике, высоко-производительной и надежной платформы TELINDY PLUS ™, в то же время обеспечивая возможность безупречной работы в плазме.

далее

TELFORMULA ™ является самой передовой изотермической миниатюрной платформой в полупроводниковой промышленности. TELFORMULA ™ включает в себя ряд инновационных технологий, специально разработанных для удовлетворения потребности отрасли в 300-мм высокоскоростном серийном производстве. TELFORMULA ™ подходит также для R&D разработок.

далее