SVCS Process Innovation

SVCS SVaFUR-FP LPCVD

  • Высокопроизводительные горизонтальные диффузионные печи
  • Печь для БТП (БТ отжиг, окисление, диффузия, пирогенное окисление, влажное окисление с использованием сверхчистого пара, сухое окисление, легирование из твердых, жидких и газообразных источников)
  • Рабочая зона до 1067мм
  • Диапазон температур — до 1300°C

далее

SVCS SVaFUR-RD LPCVD

  • Горизонтальные диффузионные печи для НИОКР и ОП
  • Печь для БТП (БТ отжиг, окисление, диффузия, пирогенное окисление, влажное окисление с использованием сверхчистого пара, сухое окисление, легирование из твердых, жидких и газообразных источников)
  • Рабочая зона до 300мм
  • Диапазон температур — до 1300°C

далее

SVCS SVсFUR-FP LPCVD

  • Высокопроизводительные горизонтальные LPCVD печи
  • LPCVD процессы: низкотемпературное оксидирование (LTO), высокотемпературное оксидирование (HTO), ТЭОС, нитрид кремния, поликремний, легированный поликремний, оксинитрид
  • Рабочая зона до 1067мм
  • Диапазон температур — до 1200°C

далее

SVCS SVсFUR-RD LPCVD

  • Горизонтальные LPCVD печи для НИОКР и ОП
  • LPCVD процессы: низкотемпературное оксидирование (LTO), высокотемпературное оксидирование (HTO), ТЭОС, нитрид кремния, поликремний, легированный поликремний, оксинитрид
  • Рабочая зона до 300мм
  • Диапазон температур — до 1200°C

далее

SVCS SVpFUR-FP PECVD

  • Высокопроизводительные горизонтальные PECVD печи
  • Печь для БТП (Нитрид кремния (включая антиотражающее SiN покрытие солнечных элементов), Оксид кремния, Оксинитрид)
  • Рабочая зона до 1067мм
  • Диапазон температур — до 1200°C

далее

SVCS SVpFUR-RD PECVD

  • Горизонтальные PECVD печи для НИОКР и ОП
  • Печь для БТП Печь для БТП (Нитрид кремния (включая антиотражающее SiN покрытие солнечных элементов), Оксид кремния, Оксинитрид)
  • Рабочая зона до 300мм
  • Диапазон температур — до 1200°C

далее