• Горизонтальная диффузионная печь пониженного давления
• До 5 горизонтальных кварцевых труб
• Тепловые помехи между трубами исключены
• Обработка POCl3 и BCl3 с автоматическим пополнением от центральных систем диспетчеризации

далее

• Горизонтальная печь для термического окисления с пониженным давлением
• До 5 горизонтальных технологических кварцевых труб
• Тепловые помехи между трубами исключены
• Соответствует процессам сухого (In-Torch System) и мокрого (DI Water Steamer) окисления.

далее

• Пакетная мультитрубная мультитехническая платформа
• Четыре диффузионных / LPCVD трубки | Одна печь PECVD
• 50 пластин (6-дюймов.) — диффузия
• 25 пластин (6-дюймов- LPCVD

далее

• Предназначена для разработки тонкопленочных фотоэлектрических материалов на жесткой или гибкой подложке
• Двухкамерная конструкция для раздельного контроля испарения и термообработки
• Автоматическая транспортировка с переменной скоростью от и до загрузочного шлюза
• Высокоточный резистивный нагрев (модуль испарения) и галогенная лампа (RTP

далее

• Программно-управляемая многопроцессорная система roll-to-roll нанесения покрытий
• Загрузка и выгрузка на 3-х дюймовых расширяемых носителях
• Автоматизированный конвейер от входных и выходных роликов
• Резистивный нагрев или нагрев галогенной лампой (RTP)

далее