gkmp32

НПО «ГКМП»

СДОМ

Термодиффузионная установка для обработки полупроводниковых пластин в рамках НИОКР и промышленного производства
Назначение: проведение процессов окисления (в том числе и пирогенного) и диффузии с применением различных окислителей и диффузантов (азота, хлора, мышьяка, фосфора, бора и пр.)
Количество камер (труб) в установке: 1, 2, 3 или 4
Подложки: пластины Ø100 мм, Ø150 мм (Ø200 мм и Ø300 мм в разработке)
Габариты рабочей зоны камеры: Ø100 мм, Ø150 мм (Ø200 мм и Ø300 мм в разработке); длина – до 600 мм (по требованию заказчика)
Диапазон рабочих температур в камере нагрева: (100÷1250) °С
Способ нагрева: резистивный
Допустимая масса загрузки: (1÷15) кг
Диапазон скоростей нагрева/охлаждения: (1÷20) °С/мин

Показать больше

Количество входов для рабочих газов: (2÷8)
Доступные операции с рабочими газами: смешение, увлажнение
Минимальное процентное содержание каждого газа при смешении: 5%
Диапазон автоматической регулировки расхода каждого газа: (20÷600) л/мин
Возможность установки дополнительных барбатёров с жидким диффузантом: имеется
Возможность установки системы загрузки-выгрузки с возможностью встряхивания: имеется
Равномерность температуры в рабочем пространстве без загрузки при автоматическом контроле поддержания температуры в установившемся режиме: ≤ (±1±0,0005t)°С
Стабильность поддержания рабочей температуры в рабочей зоне при управлении нагревом в автоматическом режиме: ≤ (±1±0,0005t) °С
Материал нагревателя: еврофехраль, kanthal, kanthal A1
Электроэнергия: 380В, 3ф, 50/60Гц, 100кВт (для варианта с 3-мя трубами)
Габариты: в зависимости от конкретной комплектации – длина (4800÷6000) мм, ширина (800÷900) мм, высота 2360 мм
Масса: 2245 кг (СДОМ – 3/100)

Показать меньше

Обратная связь

НПО «ГКМП»

СДОМ

Презентации

Инженерное оборудование

Технологическое оборудование