НПО «ГКМП»

СДОМ

  • Термодиффузионная установка для обработки полупроводниковых пластин в рамках НИОКР и промышленного производства
  • Назначение:  проведение процессов окисления (в том числе и пирогенного) и диффузии с применением различных окислителей и диффузантов (азота, хлора, мышьяка, фосфора, бора и пр.)
  • Количество камер (труб) в установке: 1, 2, 3 или 4
  • Подложки: пластины Ø100 мм, Ø150 мм (Ø200 мм и Ø300 мм в разработке)
  • Габариты рабочей зоны камеры: Ø100 мм, Ø150 мм (Ø200 мм и Ø300 мм в разработке); длина – до 600 мм (по требованию заказчика)
  • Диапазон рабочих температур в камере нагрева: (100÷1250) °С
  • Способ нагрева: резистивный
  • Допустимая масса загрузки: (1÷15) кг
  • Диапазон скоростей нагрева/охлаждения:   (1÷20) °С/мин
  • Количество входов для рабочих газов: (2÷8)
  • Доступные операции с рабочими газами: смешение, увлажнение
  • Минимальное процентное содержание каждого газа при смешении: 5%
  • Диапазон автоматической регулировки расхода каждого газа: (20÷600) л/мин
  • Возможность установки дополнительных барбатёров с жидким диффузантом: имеется
  • Возможность установки системы загрузки-выгрузки с возможностью встряхивания: имеется
  • Равномерность температуры в рабочем пространстве без загрузки при автоматическом контроле поддержания температуры в установившемся режиме: ≤ (±1±0,0005t)°С
  • Стабильность поддержания рабочей температуры в рабочей зоне при управлении нагревом в автоматическом режиме: ≤ (±1±0,0005t) °С
  • Материал нагревателя: еврофехраль, kanthal, kanthal A1
  • Электроэнергия: 380В, 3ф, 50/60Гц, 100кВт (для варианта с 3-мя трубами)
  • Габариты: в зависимости от конкретной комплектации – длина (4800÷6000) мм, ширина (800÷900) мм, высота 2360 мм
  • Масса: 2245 кг (СДОМ – 3/100)