PVA TEPLA FZ 30

• Установка FZ-30 разработана специально для выращивания крупных слитков монокристаллического кремния диаметром 200 мм и длинной 2000 мм. Центр тяжести установки совпадает с зоной расплава. Эффективная система поддержки обеспечивает самовыстраивание и защиту от внешних вибраций. Основная камера оснащена рядом портов для специальных приложений и оборудования.
• Кристалл: диаметр: до 200 мм, длина до 2000 мм
• Скорость вытягивания от 0 до 30 мм / мин
• Электричество: 3AC / PE 400В ± 5%, 50 Гц
• Технологический газ аргон: максимум 20 литров / мин, давление 5 – 12 Бар
• Сжатый воздух: 4 – 6 Бар
• Расход воды: максимум 100 литров / мин
• Давление воды: 4 — 6 Бар
• Габариты:
• Зазор высоты: 2500 мм
• Вес: 14000 кг, включая съемник вала, силовые шкафы и шкаф управления

к списку