KX 360 MACH

• Установка предназначена для выращивания монокристаллов, применяемых в микроэлектронике
• Диаметр выращиваемого кристалла: ≥ 300 мм
• Источник нагрева: резистивный, индукционный 
• Сверхпроводящий магнит: 4000 Гаусс
• Диаметр рабочей камеры: 1400 мм
• Высота рабочей камеры: 3500 мм
• Скорость роста: от 0,01 до 127 мм/ч
• Скорость вращения затравки (реверсивная): 0-30 об/мин
• Скорость вращения тигля (реверсивная): 0-30 об/мин
• Загрузочные параметры кремния  для тигля (Ø):

— 814 мм – 440кг

— 916 мм – 650кг                                                                               

• Система KrystalVision TM для контроля диаметра и контроля уровня расплава
• Система Kayex (KICCS TM) для аппаратного и программного управления процессами

к списку