KX 240 MCZR

Первая в мире модульная установка для выращивания монокристаллов, применяемых в микроэлектронике с возможностью оперативной замены тиглей разных диаметров
Диаметр выращиваемого кристалла: 200-300 мм
Источник нагрева: резистивный, индукционный
Диаметр рабочей камеры: 1100/1200 мм
Высота рабочей камеры: 3000/3500/4000 мм
Скорость роста: от 0,01 до 127 мм/ч
Скорость вращения затравки (реверсивная): 0-30 об/мин
Скорость вращения тигля (реверсивная): 0-20 об/мин
Загрузочные параметры кремния для тигля (ØхH):

— 560х343мм – 220кг

— 611х483мм – 300кг

— 713х496мм – 350кг

Обратная связь