LAPMASTER WOLTERS AC microLine 400

  • На высокопроизводительных станках серии AC microLine можно обрабатывать образцы различной формы, т.е. круглые (например п/п подложки, стеклянные подложки и др.), прямоугольные или нестандартной формы и обрабатывать как всю поверхность образца так и отдельный сегмент или участок поверхности. В зависимости от геометрии образца возможно достичь допусков в микрометры и даже ниже (субмикронные допуска при обработке пластин).
  • Станки серии AC microLine являются идеальным решением для обработки тонких и хрупких образцов, таких как стекло, полупроводниковые подложки: кремниевые пластины, пластины из структур A3B5 (GaAs, GaN и др.), пластины из сапфира, керамики и др. Метод и процесс обработки прост, гибок и производителен.
  • Станок для высокоточной двухсторонней шлифовки и полировки пластин AC microLine 400 может загружать и обрабатывать заготовки с максимальным диаметром 100 мм и максимальной толщиной 50 мм.
  • Технические характеристики AC microLine 400:
ВерсияF, PL, P, D
Диаметр колеса (мм)425 / 445 / 475425 / 445 / 475
Ширина колеса (мм)120 / 150120 / 150
Максимальная нагрузка давлением (daN)300 / 500300 / 500
Мощность верхнего привода (кВт)3 / 42 / 3
Скорость верхнего привода (об./мин)175 / 320100 / 175
Мощность центрального привода (кВт)1.21.2
Скорость центрального привода (об./мин)100100
Охлаждение рабочих колесбез / с охлаждениембез / с охлаждением
Габариты (В x Ш x Г) (мм)2200 x 800 x 15452200 x 800 x 1545
Вес (кг)15001500
Максимальная толщина заготовок (мм)5050

к списку