FERROTEC FT-CZ2008A

• Установки для выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского для нужд полупроводниковой промышленности
• Конструкция: Нержавеющая сталь 304L и 316L
• Автоматический контроль процессов нагрева и охлаждения. Защита от перегрева, управление подачей охлаждающей жидкости, контроль записей процесса

• Пульт дистанционного управления может контролировать и управлять несколькими единицами оборудования
• Технические характеристики:

Модель	FT-CZ2008A
Диаметр тигля	20″
МаксимальDая загрузка	95 кг
Диаметр кристалла	6″ / 8″
Максимальная длинна кристалла	До 2000 мм
Основной корпус	4500 кг
Пульт управления	100 кг
Щит управления	400 кг
Блок питания	2100 кг
Электричество	Три фазы 380В, 50 Гц
Мощность	200 кВА
Охлаждающая вода, расход	280–320 л/мин
Охлаждающая вода, давление	0.3-0.4 МПа
Газообразный аргон, расход	150 л / мин
Газообразный аргон, давление	> 0.2 МПа
Сжатый воздух, давление	0.6 МПа
Максимальная высота	7900 мм