• Установка травления/сжигания материалов от НИОКР до серийного производства
• Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)   
• Подложки/пластины различных размеров вплоть до 8”
• Полуавтоматическая загрузка по одной пластине (подложке)

далее

• Полностью автоматизированная однокамерная установка травления/сжигания материалов для серийного производства
• Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)  
• Подложки/пластины различных размеров вплоть до 8”
• Двухкассетная платформа с трехосевой роботизированной загрузкой-разгрузкой по одной пластине (подложке)

далее

• Установка травления/сжигания материалов от НИОКР до серийного производства
• Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)  
• Подложки/пластины различных размеров вплоть до 12”
• Полуавтоматическая загрузка по одной пластине (подложке)

далее

• Полностью автоматизированная однокамерная установка травления/сжигания материалов для серийного производства
• Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)  
• Подложки/пластины различных размеров вплоть до 12”
• Загрузочный порт для одного SMIF-контейнера с трехосевой роботизированной загрузкой-разгрузкой

далее

• Автоматизированная установка травления/сжигания материалов для серийного производства
• Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)  
• Подложки/пластины различных размеров 4”, 6” и 8”
• Загрузочные порты для трех или четырех кассет или двух SMIF-контейнеров с пятиосевой двухманипуляторной роботизированной загрузкой-разгрузкой со специализированной системой захвата пластин

далее

• Автоматизированная установка травления/сжигания материалов для серийного производства
• Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)  
• Подложки/пластины различных размеров вплоть до 8”
• Две или четыре процессных камеры

далее

• Промышленная линия травления/сжигания материалов для крупносерийного производства
• Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)  
• Подложки/пластины различных размеров вплоть до 300 мм или 330 мм
• Загрузочные порты для двух или трех SMIF-контейнеров с пятиосевой двухманипуляторной роботизированной загрузкой-разгрузкой

далее

• Промышленная линия травления/сжигания материалов для крупносерийного производства
• Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)  
• Подложки/пластины различных размеров вплоть до 300 мм
• Две или четыре процессных камеры

далее