ООО НПК «ТехМашСервис»

Установки химического осаждения из газовой фазы при низком давлении с плазменной активации для промышленного производства
Назначение: для образования тонких пленок (в т.ч. SiС, SiO₂, Si₃N₄, ФСС и т.д.) методом химического осаждения из газовой фазы с плазменной активации (PECVD), а также для процессов отжига, восстановления, гидролиза и пр.
Режимы работы: автоматический и полуавтоматический
Подложки: пластины ø100 мм, ø150 мм
Автоматическая загрузка
Количество реакторов (труб) в установке: 1, 2, 3 или 4
Частота генератора: 440 кГц и 13,56 мГц

Длина рабочей зоны реактора: 1200 мм
Диапазон рабочих температур: (250÷500) °С
Способ нагрева: резистивный
Точность поддержания температуры во время рабочего процесса: ±3 °С
Время разогрева печи до максимальной рабочей температуры: ≤2 ч
Система управления на основе ПК
Электроэнергия: 380 В, 3 ф, 50/60 Гц
Габариты: в зависимости от конкретной комплектации — длина до 6000 мм, ширина (800÷900) мм, высота 2400 мм
Опционно: различные виды нагрева, выбор размера подложек, рабочего давления, плазмы, типов загрузочных камер и др.

Установки химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении для промышленного производства
Назначение: для образования тонких пленок (в т.ч. Si, SiС, SiO₂, Si₃N₄, ФСС, Ge, GaN и т.д.) методом химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении в реакционной камере (LPCVD), а также для процессов отжига, восстановления, гидролиза и пр.
Режимы работы: автоматический и полуавтоматический
Подложки: пластины ø76 мм, ø100 мм, ø150 мм
Количество реакторов (труб) в установке: 1, 2, 3 или 4
Длина рабочей зоны реактора: (600÷900) мм
Диапазон рабочих температур: (400÷900) °С

Способ нагрева: резистивный
Точность поддержания температуры во время рабочего процесса: ±(0,5÷1,5) °С
Время разогрева печи до максимальной рабочей температуры: ≤2 ч
Величина остаточного давления в реакторе: ≤1,3 Па
Величина рабочего давления: (5÷1500) Па
Скорость откачки: ≥50 л/с
Система управления на основе ПК
Электроэнергия: 380 В, 3 ф, 50/60 Гц
Габариты: в зависимости от конкретной комплектации — длина до 6180 мм, ширина (800÷900) мм, высота 2360 мм
Опционно: различные виды нагрева, выбор размера подложек, рабочего давления, типов загрузочных камер и др.

Обратная связь