SAMCO PD-220N, NA (PECVD)

• Компактная установка анодного плазмо-активированного химического осаждения тонких пленок для НИОКР и пилотного производства с открытой загрузкой
• Назначение: осаждение кремнесодержащих тонких пленок: оксидов кремния (SiO_x), нитридов кремния (Si_xN_y), оксинитридов кремния (SiO_xN_y), гидрогенизированного аморфного кремния (a-Si:H). Поддержка продолжительного выполнения множественных разнородных процессов, например, процесс очистки пластин и затем процесс осаждения
• Загрузка: пластины ø3″ – 5шт., ø4″ – 3шт., ø8″ – 1шт.
• Электроды: размещены параллельно, зазор между электродами – 25мм. Верхний электрод – ø277мм, алюминий с обработанной поверхностью и распылительной головкой. Нижний электрод — ø260мм из нержавеющей стали, с покрытием из алюминия  ø310мм с углублением ø230мм (ø220мм – зона однородного осаждения), с резистивным нагревом до 400°C максимум и ПИД-регулированием    
• Генератор: 300Вт, 13,56 МГц – твердотельный ВЧ-генератор с воздушным охлаждением и автоматическим согласованием нагрузок
• Газовая система размещена в закрытом шкафу: две линии с коррозионностойкими РРГ (для процессных газов  типа SiH₄, NH₃) и байпасными линиями, одна линия с некоррозионностойким РРГ (для некоррозионного процессного газа), линия продувочного азота с запорным клапаном
• Вакуумная система: процессная линия – механический бустерный насос 110м³/ч, химстойкий двухступенчатый форвакуумный насос 400л/мин со стабилизацией газообразным азотом и выхлопом в линию вентиляции, автоматическое поддержание давления за счет управления 2” клапаном с приводом; байпасная вакуумная линия – роторный насос  400л/мин
• Диапазон давления: от 10³ до 5х10^-5 Па
• Мановакууметр диапазоном от 2,66х10² до 2,66х10^-2 Па
• Система управления: с сенсорного компьютеризированного дисплея. Полная автоматизация процесса (одной кнопкой) и возможностью ручнго управления. Библиотека (до 100) многошаговых режимов (до 100 шагов на режим, до 1000 шагов всего) для автоматического управления технологическим процессом. Отображение на дисплее заданных режимов и параметров процесса.
• Полный набор блокировок при возникновении нештатных ситуаций защищает оператора и окружающий персонал
• Рабочая камера: внутреннй ø340мм, материал – алюминий; одно смотровое окошко ø12мм для визуального контроля процесса обработки пластин
• Электроэнергия: 200В, 3ф, 35А, заземление Type D
• Процессный газ: давление — 1 кг/см²
• Продувочный азот: давление — 1 кг/см², расход – 35 л/мин
• Сжатый очищенный воздух: давление (5÷7) кг/см²
• Вытяжная вентиляция: для подключения корпуса установки, газового шкафа и выхлопа форвакуумного насоса   
• Габариты: 590ммx1200ммx1700мм
• Опционно: дополнительные газовые линии; оборудование для применения TEOS; дополнительные высоковакуумные системы; фильтрация масла; системы очистки выбросов; применение сейсмостойкой арматуры; световой маячок

к списку