PE-25

  • Недорогая установка плазменной очистки базового уровня для НИОКР, мелкосерийного производства, университетов и т.д.
  • Подложки до (3″x 6″)
  • Один горизонтальный электрод — 3,5″ x 7″; зазор — 2,5″   
  • Генератор: 400Вт, 50кГц с плавным регулированием мощности
  • Регулировка газового потока: один ротаметр (0÷25) см3/мин с прецезионным игольчатым клапаном
  • Мановакуумер диапазоном (1÷2000) мторр, вакуумный насос не входит в стандартную комплектацию
  • Система управления на базе программируемого логического контроллера с клавиатурой ввода и алфавитно-цифровым дисплеем; библиотека режимов для автоматического управления технологическим процессом
  • Рабочая камера: ø5″ x 8″, материал – алюминий 6061-T6
  • Электроэнергия: 120В, 15А, 60Гц либо 220В, 14А, 50Гц
  • Габариты: 14″x14,5″x18″
  • Вес: 52 фунта (23,6 кг)
  • Опционно: мегагерцовый генератор плазмы; система управления на базе компьютера; сухой вакуумный насос; дополнительные газовые входы; цифровые РРГ; световой маячок

к списку