• Установка (Степпер) проекционной литографии для нанотехнологий и полупроводниковых соединений
• Экономичное литографическое решение для производства недорогих силовых ИС, линейных чипов и прикладных ИС, МЭМС
• Универсальный инструмент для приложений, заменяющих устаревшие сканеры и контактные принтеры
• Диаметр обрабатываемых пластин (перенастраиваемый) от 75 мм до 200 мм

далее

• Установка (Степпер) проекционной литографии на базе Star 100 для исследований в областях нанотехнологий, МНЭМС и бампинг-технологий 
• 1X литография
• Возможность экспозиции резистов i-, gh- и ghi- линиями спектра
• Дополнительные светофильтры позволяют выбирать длину волны

далее

• Степперы для бампинг-фотолитографии
• Используется бесконтактная 1X проекционная технология
• Возможность широкополосного облучения дает возможность экспозиции резистов i-, gh- и ghi- линиями спектра
• Автоматически перестраиваемый держатель для пластин 150 и 200 мм (AP200) или 200 и 300 мм (AP300)

далее

• Степпер для двухстороннего малоразмерного совмещения
• Установка проекционной литографии для полупроводников, тонкопленочных технологий и МНЭМС
• Применяется технология визуального контроля
• Роботизированное устройство перемещения пластин толщиной до 1,2 мм

далее

• Степпер для малоразмерных тонкопленочных головок
• Установка проекционной литографии для малоразмерных тонкопленочных головок
• Новая конструкция держателя для улучшения точности и воспроизводимости
• Применяется технология визуального контроля

далее

• Установка контроля двухстороннего совмещения
• Применяется при производстве МНЭМС и других приборов с наноразмерами
• Применяется для различных размеров подложек и приборов
• Используется компьютерное видеоизмерительное устройство

далее

• Установка лазерной литографии
• Предназначена для массового производства продвинутых логических устройств от узлов 40 нм до 14 нм.
• Использует один узкий лазерный луч для нагрева поверхности пластины от температуры подложки до пиковой температуры отжига.

далее

• Установка лазерной литографии
• Полное управление средой в сканирующей лазерной системе.
• Длинноволновый лазер, угол полной поляризации, p-поляризованный свет обеспчивают оптимальную однородность матрицы
• Замкнутый контроль температуры с обратной связью для поддержания контроля температуры

далее