ELS 807FA

  • Установка автоматической оптической инспекции масок
  • Рабочий размер пластин： 5″ ~ 7″
  • Компоновка блока:      Система загрузки масок / Робот / Устройство для центрирования / Столик / система выгрузки масок
  • Тип робота：    одноплечевой
  • Тип ПЗС：         Линейный сканирующий ПСЗ
  • Класс чистоты：          класс 100 с HEPA фильтром
  • Разрешение： 2 мкм / пиксель
  • Тактовое время:         

Маска размером 5″: 100 сек/шт., сканирование области размером 2″ и 4″

Маска размером 7″: 120 сек/шт, сканирование области размером 6″

(на основе рабочего размера и разрешения)

  • Эксплуатационные характеристики：    

Протокол автоматической загрузки по штрих-коду

Выявление дефектов

Функция картирования

Опционально:

(1) Функция измерения

(2) Система записи истории маски (связь с очистителем масок)

  • Управление：встроенный компьютер

к списку