ELS 712SA

  • Полуавтоматическое установка для нанесения проявителя
  • Размер обрабатываемых пластин 300мм
  • Скорость вращения: 100 ~ 4500 оборотов в минуту
  • Точность поддержания скорости вращения: ±1%
  • Ускорение： 3000 об / сек.
  • Насадка для проявителя: В системе – в количестве 1 ~ 3
  • Насадка для деионизированной воды: В системе – 1
  • Промывка задней стороны пластин: Да
  • Набор инструкций:     20 инструкций по 40 шагов
  • Крепеж пластин           С помощью вакуума
  • Материал столика: алюминий или опционально: тефлон
  • Система управления: ПЛК
  • Опционально: Система регулирования температуры проявителя сопла для сухого N2

к списку