ELS 512FA

Полностью автоматическая установка химической обработки
Размер подложки： 200мм / 300мм
Состав： зона загрузки / Робот / система выравнивания / камера очистки / зона выгрузки
Тип робота：двойной манипулятор с системой картирования
Класс чистоты：класс 100 с HEPA фильтром
Скорость вращателя：30 ~ 5000 оборотов в минуту
Очистка камеры：распылительный клапан, кисть и обдувка азотом
Управление：встроенный компьютер
PLC секвенсор：Mitsubishi Q series
Рецепты：30 рецептов x 50 шагов
Производительность：90 шт. в час
Особенности：1. Сухая обработка 2. Коэф. удаления частиц > 98%

Обратная связь