ELS 450FA

  • Автоматическая установка очистки масок
  • Рабочий размер：      1400 x 850мм и 800×900 мм для кварцевых масок
  • Состав：            загрузка / робот / выравнивание / очистка / блок поворота / блок УФ засветки/ выгрузка
  • Точность выравнивания：± 0.5мм
  • Тип робота：один трёхосевой
  • Скорость вращателя：30 ~ 1000 оборотов в минуту
  • Точность поддержания скорости вращения：   ± 5%
  • Ускорение：от 0 до  1000 оборотов в минуту за 30 сек.
  • Система дозирования химикатов：         щелочные химикаты
  • Система очистки：наличие
  • Подача азота：наличие
  • Система контроля температуры: наличие
  • Блок поворота：270°
  • Инспекционные истончики：          прожектор / зеленая лампа / подсветка
  • УФ лампа：       172нм
  • Интенсивность излучения УФ：> 50мВт / см2
  • Рецепты：         30 рецептов x 50 шагов
  • Полностью автоматическое устройство: загрузка и выгрузка из кассет
  • Автоматическая настройка под размер маски
  • Использование щетки и технологии мега звука для удаления частиц, никаких следов воды после очистки, хорошая эффективность очистки
  • Изменение размера маски: нет необходимости менять перенастраивать систему при очистке масок разного размера
  • Односторонняя или двухсторонняя очистка
  • Можно поменять режим очистки при обработке другого типа масок
  • Низкая стоимость: щелочные химикаты для очистки, низкая стоимость
  • Можно загружать/отслеживать/управлять записью процессов очистки масок
  • Собственные программное обеспечение/ аппаратные средства / оптические технические системы компании ELS
  • Удаление инородных частиц 99 %
  • Высокая производительность
  • Возможность соединения с системой проявления/экспонирования и настройка системы управления покупки / производства / очистки / удаления масок
  • Камера очистки
  • Система подачи химических реагентов
  • Манипулятор с устройством Mega Sonic
  • Манипулятор со щеткой: сканирующего типа
  • Насадки для подачи деионизированной воды или N2
  • Насадка для промывки задней стороны пластин деионизированной водой / обдувки N2
  • Система управления: ПК + ПЛК
  • Управление операциями: Сенсорная панель
  • Класс чистоты ИСО 5
  • Опционально: SECS / GEM (стандарт в области связи для полупроводниковой промышленности/

к списку