• Просвечивающий электронный микроскоп
• Новейший аналитический микроскоп, оснащенный катодом с полевой эмиссией, имеет встроенный в колонну энергетический фильтр (Омега фильтр), который позволяет получать четкие и высококонтрастные изображения, формированные только прошедшими упругорассеянными электронами с нулевой потерей энергии, исключая влияние неупругорассеянных электронов. 
• Изображения с фильтрацией по энергии, сформированные электронами с низкими потерями энергии или неупругорассеянными в результате взаимодействия с оболочками атомов, позволяют получать информацию о химическом составе образца.
• Так же можно получать спектры элементов, входящих в состав образца.

далее

• Сканирующий электронный микроскоп
• Сканирующий электронный микроскоп с катодом Шоттки Супер Гибридной Линза (SHL) для экстремально высокого разрешения
• Разрешение: до 0.8нм
• Увеличение: От ×25 до ×1 000 000 (SEM)

далее

• Двухлучевая ионно-электронная система
• Гибридная система, сочетающая в себе высокоразрешающий РЭМ и систему со сфокусированным ионным пучком для микротравления (послойное травление образцов).
• РЭМ позволяет позиционировать ионный пучок в место травления с высокой точностью и визуализировать процесс травления с разрешением до 1.2 нм.
• Благодаря высокому току зонда (до 200 нА), прибор позволяет эффективно использовать приставки для микроанализа (ЭДС, ДОРЭ)

далее

• Электронно-зондовый микроанализатор (EPMA)
• Уникальный электронно-зондовый микроанализатор с катодом Шоттки для получения информации о химическом составе образца в произвольном участке с высочайшим разрешением.
• Разрешение во вторичных электронах: 3нм
• Увеличение в режиме сканирования до 300 000х

далее

• Оже-микроанализатор с термополевой электронной пушкой обеспечивают получение информации о химсоставе образцов из малого информационного объёма, что определяет их высокие показатели по пространственному разрешению. Преимущество Оже-электронных микроанализаторов заключается в возможности исследования одномерных нанообъектов, а именно тонких (вплоть до одного монослоя) пленок, а также весьма высокая локальность анализа в латеральном направлении. Данные приборы в массивных образцах обеспечивают получение информации по элементному и химическому составу в областях глубиной до 1 нм и диаметром около 8 нм.
• Разрешение электронного пучка: до 3х нм
• Диаметр зонда для Оже-микроанализа: 8нм
• Увеличение от 25 до 500 000 крат

далее

• Cистема электронно-лучевой литографии
• Высокоскоростные промышленные, а так же компактные (для мелкосерийного производства) системы электронно-лучевой литографии предназначены для производства субмикронных и наноразмерных полупроводниковых устройств.

далее