Bruker D8 FABLINE

• Дифрактометр разработан для контроля качества полупроводниковых пластин. Комбинация из высокоразрешающего рентгенодифракционного анализа + отражательной рентгеновской микроскопии + микро рентгенфлуоресцентного анализа и дифракции под скользящими углами
• Позволяет контролировать такие параметры как
  • Толщину пленки
  • Химический состав
  • Шероховатость
  • Плотность слоев
  • Пористость
  • Кристаллическую структуру
  • Степень релаксации
  • Ориентацию
  • Исследовать остаточные напряжения
• Размер образца: до 300мм
• Класс частоты: ISO 10
• Перемещение образца X ±150 мм, Y 150мм, Z – 2мм

к списку