• Дифрактометр разработан для контроля качества полупроводниковых пластин. Комбинация из высокоразрешающего рентгенодифракционного анализа + отражательной рентгеновской микроскопии + микро рентгенфлуоресцентного анализа и дифракции под скользящими углами
• Позволяет контролировать такие параметры как
  • Толщину пленки
  • Химический состав
  • Шероховатость
  • Плотность слоев
  • Пористость
  • Кристаллическую структуру
  • Степень релаксации
  • Ориентацию
  • Исследовать остаточные напряжения

далее

• Промышленный оптический профилометр
• Диапазон измерения по вертикали от 0.1 до 10мм
• Разрешение по вертикали 0.1нм
• Повторяемость 0.01нм

далее

• Промышленный зондовый профилометр
• Зондовый датчик (контактные измерения)
• 2D/3D восстановления профиля
• Поле обзора
  • Боковая камера 2.5мм x 4.25мм
  • Верхняя камера 11.5мм х 15.5мм

далее

• Система малоуглового рентгеновского рассеяния
• Является надежным, экономичным и неразрушающим методом анализа наноструктурированных материалов, предоставляющим информацию о размере частиц и распределении частиц по размерам от 1 до 100 нм, форме и распределении осей ориентации в образцах жидкостей, порошков и объемных образцах.
• Диапазон перемещения образца 130х80мм
• Возможность охлаждения до -30С и нагрева до 300С

далее