• Электрические измерения в полупроводниковой промышленности
• UF190R: Пластины 100-200мм, UF200R: Пластины 125-200мм
• Передача коробления и сверхтонкой пластины с помощью специального механизма передачи. СРМС передача с помощью специального механизма
• Функция проверки и автоматического выравнивания иглы  

далее

• Электрические измерения в полупроводниковой промышленности
• Пластины от 5″ до 8″
• Передача коробления и сверхтонкой пластины с помощью специального механизма передачи. СРМС передача с помощью специального механизма
• Функция проверки и автоматического выравнивания иглы 

далее

• Электрические измерения в полупроводниковой промышленности
• Пластины от 5″ до 8″
• Передача коробления и сверхтонкой пластины с помощью специального механизма передачи. СРМС передача с помощью специального механизма
• Функция проверки и автоматического выравнивания иглы

далее

• Электрические измерения в полупроводниковой промышленности.
• Пластины 8″ или 12″
• Передача коробления и сверхтонкой пластины с помощью специального механизма передачи. СРМС передача с помощью специального механизма
• Функция проверки и автоматического выравнивания иглы

далее

• Лазерно-интерферометрическая измерительная система
• Контроль шероховатости и профиля геометрических поверхностей
• Перемещение по X-оси: 100 или 200 мм
• Перемещение вверх/вниз по Z-оси: 250, 450 или 650 мм

далее

• Лазерно-интерферометрическая измерительная система
• Контроль шероховатости и профиля геометрических поверхностей
• Системное разрешение стилуса: 0,31 нм / 50 мм
• Соотношение между диапазоном измерения и разрешением: 43 333 000 : 1

далее

• Лазерно-интерферометрическая измерительная система
• Контроль шероховатости и профиля геометрических поверхностей
• Системное разрешение стилуса: 0,31 нм / 50 мм
• Ошибка прямолинейности: по X-оси 0,11 мкм с измерительным трактом 200 мм

далее

• Лазерно-интерферометрическая измерительная система
• Контроль шероховатости и профиля геометрических поверхностей
• Угол поворота: 0°, 90°, 180°, 270°
• Диапазон измерения / разрешение (ось Z): 500 мм / 0,1 мкм

далее