ULVAC Technologies

ULVAC IMX-3500 / IMX-3500RS

Автоматическая установка среднетоковой ионной имплантации для НИОКР и мелкосерийного производства
Назначение: внесение точного количества требуемых ионных примесей на необходимую глубину в поверхностный слой пластин Si и SiC для производства ИС и МЭМС
Загрузка: ручная или автоматизированная
Механический зажимной механизм пластин (ручная установка ориентации в плоскости)
Пластины: до ø 200 мм
Высоковакуумная процессная камера
Подложкодержатель для одной пластины
Температура пластины: до 700 °С (SiC)

Показать больше

Ток пучка ионов: до 0,9 мА
Диапазон энергий: (10÷200) кэВ – для однозарядных ионов, до 400 кэВ – для двухзарядных ионов, до 600 кэВ – для трехзарядных ионов; от 1 кэВ до 4,5 МэВ (IMX-3500RS)
Диапазон доз: (1·10¹¹÷1·10¹⁶) 1/см²
Угол имплантации: 0°, 7°, по запросу заказчика
Система электростатического сканирования
Ручная регулировка луча
Ионные источники для имплантации: B, P, As, Al, Be, K, Fe, Cu, N и др.
Процессные газовые линии с РРГ: три
Применяемые газы: AsH₃, PH₃, BF₃, Ar, N₂ и другие
Осушенный азот: (2÷8) бар; до 10л/мин
Очищенный сухой сжатый воздух: (2÷8) бар; 30 л/мин; точка росы – не хуже -20 °С
Вытяжная вентиляция: 15 м³/мин
Охлаждающая вода: (2÷4) бар; 20 л/мин; (20÷30) °С
Охлаждение жидким N₂ (IMX-3500RS)
Применение деионизованной воды для изоляции модуля охлаждения
Система быстрого охлаждения подложкодержателя
Система управления: компьютерная
Вакуумная система: турбомолекулярные, криогенные, форвакуумные насосы
Электроэнергия: 208В, 50/60Гц, 3ф, 25 кВA
Размеры: 2200×3900×2420 мм
Вес: около 5000 кг
Опции: дополнительный робот для переноса пластин; высокотемпературная плита

Показать меньше

ULVAC SOPHI-200/260 и SOPHI-400

Автоматическая установка среднетоковой ионной имплантации для НИОКР и серийного производства
Назначение: внесение точного количества требуемых ионных примесей на необходимую глубину в поверхностный слой кремниевых пластин для производства IGBT устройств (силовых биполярных транзисторов с изолированными затворами)
Загрузка: кассетная
Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
Пластины: до ø 200 мм
Высоковакуумная процессная камера
Термостабилизируемый подложкодержатель для одной пластины
Возможность обработки ультратонких пластин (до 50 мкм)

Показать больше

Возможность протонной имплантации (SOPHI-400)
Параллельный пучок ионов
Ток пучка однозарядных ионов: до 1,8 мА
Диапазон энергий: 200/260 кэВ – для однозарядных ионов, 400/520 кэВ – для двухзарядных ионов (SOPHI-200/260); 400 кэВ – для однозарядных ионов, 800 кэВ – для двухзарядных ионов, 1,2 МэВ – для трехзарядных ионов (SOPHI-400)
Диапазон доз: (1·10¹²÷1·10¹⁸) 1/см²
Система электростатического сканирования
Газовые линии с РРГ
Очищенный сухой сжатый воздух
Вытяжная вентиляция
Система управления: компьютерная
Вакуумная система: турбомолекулярные, криогенные, форвакуумные насосы
Электроэнергия: 208В, 50/60Гц, 3ф

Показать меньше

ULVAC IH-860/IH-860DSIC/IH-860PSIC/IH-860UP

Автоматическая высокотемпературная установка высокоэнерговой ионной имплантации для НИОКР и массового производства
Назначение: внесение точного количества требуемых ионных примесей на необходимую глубину в поверхностный слой пластин при производстве силовых устройств на карбиде кремния
Пластины: до ø 200 мм
Производительность: до 50 пл/ч
Возможность обработки ультратонких пластин (до 50 мкм)
Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
Высоковакуумная процессная камера
Два подложкодержателя

Показать больше

Температура подложкодержателя: до 500 °С
Ток пучка однозарядных ионов: до 1,0 мА
Диапазон энергий: (30÷400) кэВ – для однозарядных ионов,до 800 кэВ – для двухзарядных ионов, 1,2 МэВ – для трехзарядных ионов
Диапазон доз: (1·10¹³÷2·10²⁰) 1/см²
Система электростатического сканирования
Газовая система: газовый шкаф, линии с РРГ
Очищенный сухой сжатый воздух
Вытяжная вентиляция
Системы быстрого нагрева и охлаждения подложкодержателей
Система управления: компьютерная
Вакуумная система: турбомолекулярные, криогенные, форвакуумные насосы
Электроэнергия: 208В, 50/60Гц, 3ф, 125А (IH-860UP)
Размеры: 7000×3000×2600 мм
Вес: около 10600 кг (IH-860UP)

Показать меньше

Обратная связь

ULVAC Technologies

ULVAC IMX-3500 / IMX-3500RS

ULVAC SOPHI-200/260 и SOPHI-400

ULVAC IH-860/IH-860DSIC/IH-860PSIC/IH-860UP

Презентации

Инженерное оборудование

Технологическое оборудование