ЭМ-5289Б

  • Сканирующий лазерный генератор
  • Предназначен для изготовления металлизированных фотошаблонов при производстве СБИС и других изделий электронной техники, а также для формирования топологии на полупроводниковых подложках, обеспечивая совмещение с предыдущими слоями (безмасковая оптическая литография)
  • Размер минимального элемента 350нм
  • Время экспонирования области 100х100мм 120мин
  • Размер поля экспонирования 215х215мм
  • Совмещаемость комплекта шаблонов 50-60нм
  • Неровность края элементов топологии 30нм
  • Дискретность адресной сетки 1.25нм
  • Потребляемая мощность   5кВт

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.