ЭМ-5109

  • Лазерный генератор изображений широкого применения
  • Предназначен для изготовления металлизированных фотошаблонов при производстве интегральных схем, полупроводниковых приборов, гибридных схем, фотоэлектрических преобразователей, ЖК-индикаторов, прецизионных печатных плат, фотошаблонов ГИС, специальных измерительных и тестовых шаблонов
  • Размеры наборного элемента 1…300мкм
  • Производительность (на регулярных структурах) 1,7 млн. эксп./ч
  • Размер поля экспонирования 300х300мм
  • Дискретность перемещений координатного стола 50нм
  • Погрешность позиционирования координатного стола ±150нм
  • Дискретность изменения размеров наборного элемента 100нм
  • Угол поворота наборного элемента 0…90°
  • Дискретность изменения угла поворота 0,025°
  • Потребляемая мощность 3 кВт

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.