ЭМ-5096

  • Установка совмещения и экспонирования
  • Предназначена для совмещения изображения фотошаблона и пластины (подложки) и переноса изображений с фотошаблона на пластину контактным (в зазоре) экспонированием фоторезистивного слоя пластин (подложки)
  • Диапазоны рабочих длин волн 225-260нм; 280-335нм; 350-450нм
  • Фотолитографическое разрешение 0.4 … 0.6мкм
  • Неравномерность освещенности рабочего поля диаметром 76мм    ±2%
  • Случайная составляющая погрешности совмещения     ±0.1мкм
  • Диаметр обрабатываемых пластин 76 (16, 20, 25, 30, 40, 50, 60); 60×48; 48×30мм
  • Размер фотошаблонов 76х76мм, 102х102мм
  • Чувствительность привода манипулятора совмещения: по X, Y 0.01
  • мкм; по углу 0.1секунд 
  • Двупольный микроскоп с расщепленным полем и плавным изменением увеличения с объективами ОМ 0,4/8 и окулярами 10х  150х … 480х; с объективами ОМ 0,2/14 и окулярами 10х 90х … 250х
  • Потребляемая мощность 800Вт

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.