ЭМ-5062М

  • Фотоповторитель
  • Предназначен для изготовления металлизированных эталонных и рабочих фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем методом проекционного переноса
  • Фотографическое разрешение на поле модуля 10х10мм (на структурах линия-промежуток) 1мкм
  • Производительность при времени экспонирования 0,5 с, количестве модулей 61, размере модуля 10х10 мм, на шаблонах 127х127 мм – 30 фотошаблонов/ч
  • Рабочее поле перемещения каретки координатного стола 150х150мм
  • Масштаб проекционного уменьшения объектива             1:10
  • Максимальный размер экспонируемого модуля на шаблоне 10х10мм
  • Невоспроизводимость размера минимального элемента, при ширине линии 1,2 мкм 200нм
  • Размеры заготовок фотошаблонов 76х76 мм; 102х102 мм; 127х127 мм; 153х153 мм
  • Размеры промежуточных фотошаблонов 102х102мм; 127х127мм
  • Потребляемая мощность 1,8 кВт

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.