ЭМ-5009М

  • Генератор изображений для изготовления эмульсионных фотошаблонов
  • Предназначен для изготовления эмульсионных фотошаблонов при производстве интегральных схем, полупроводниковых приборов, гибридных схем, ЖК-индикаторов
  • Размер наборного элемента 4…1500мкм
  • Производительность (на регулярных структурах) 0,2 млн. эксп./ч
  • Размер поля экспонирования 153х153мм
  • Дискретность перемещений координатного стола 250нм
  • Погрешность позиционирования координатного стола ±300нм
  • Масштаб проекционного уменьшения  1:20
  • Дискретность изменения размеров наборного элемента 500нм
  • Угол поворота наборного элемента 0…90°
  • Потребляемая мощность, не более 3 кВт

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.